中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9234670 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 8は、厚さ、平坦度、弓/ワープ、表面粗さ、欠陥密度などの半導体ウェーハの重要なパラメータを測定するために使用される自動ウェーハ試験および計測機器です。統合されたデュアルオプティカルヘッドデザイン、デュアル可変速度の高精度エンコーダ装置、自動化されたウェハハンドリング、位置決め、スキャン用のCompactHandler IIを備えています。VEECO DEKTAK 8は、革新的なエッジ検出およびシグナルリターンアルゴリズムにより、変化するウェーハ特性に合わせた高精度で再現性のある測定を提供します。また、リファレンスポイントベースのウェハースキャンを自動化し、ユーザー定義のスキャン領域をリファレンスポイント上に配置できます。平坦度/ワープ測定のため、SLOAN DEKTAK 8は、ウェーハの非常に小さな厚さ変化を測定できる最先端の2次元レーザー変位センサを使用しています。また、安定性と再現性のためにハイエンドのステージを使用することができ、非常に正確な測定を可能にします。DEKTAK 8には、光学ヘッド内部のウェーハ表面を移動させる電動ステージも装備し、表面粗さを測定します。このユニットは、サブミクロンレベルの表面欠陥を検出、測定、分析することができます。VEECO/SLOAN DEKTAK 8には、コンピュータ制御のオートフォーカスインターフェイスと組み合わされた高解像度CCDカメラが搭載されており、自動画像処理、欠陥識別、解析、正確な高さ判定が可能です。このマシンは、自動欠陥分類と欠陥データベースクエリ機能も備えています。さらに、VEECO DEKTAK 8は、特別に設計された環境チャンバーを使用して粒子生成を低減し、汚染物質から最大限の保護を提供するクリーンルーム用に設計されています。このツールはまた、テストプロセス中に動的な雰囲気を維持するために空気圧アセットを組み込みます。SLOAN DEKTAK 8は、モデルとデータ分析を制御するための豊富なソフトウェアアプリケーションを提供します。これらのアプリケーションには、自動キャリブレーション、データロギング、ウェハマッピング、欠陥検出およびレポートなどが含まれます。インストゥルメントはまた、デバイスの特定の要件に合わせて各テストをカスタマイズするために使用できる幅広いユーザー定義パラメータを提供します。全体として、DEKTAK 8は非常に洗練されたハイエンドのウェーハ試験および計測機器であり、半導体ウェーハ測定において最高の精度と再現性を提供します。統合されたハードウェア、高度なソフトウェア、および優れた環境保護により、VEECO/SLOAN DEKTAK 8は現代の半導体製造に最適です。