中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #293610046 を販売中
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VEECO/SLOAN DEKTAK 8は、半導体ウェーハのプロファイルを迅速、正確、かつ繰り返し測定するように設計された最先端のウェーハ試験および計測機器です。この高度なシステムは、特許取得済みの垂直スキャン干渉計技術「スタイラスプロフィロメータ」を使用して、半導体スパッタとエッチマスクプロファイルの3次元画像を生成します。これにより、オペレータはサンプルを迅速かつ正確に検査し、有意義な測定を行うことができます。VEECO DEKTAK 8は、自動化されたデータ収集機と垂直トレースチェーサーを制御する精密ステップモーターを備えたコンパクトで操作が簡単なユニットです。このツールのロードロック設計は不活性な環境を提供し、環境変数の影響を受けずに再現可能な結果を得ることができます。SLOAN DEKTAK 8アセットは、フラットチップから、公称半径が1から8 µmのダイヤモンドチップまで、さまざまなスタイラスジオメトリを提供します。スタイラスのヒントは、粒子の汚染、指紋の汚れ、その他の形態の劣化による影響に抵抗するように設計されています。このモデルは、2〜200平方ミリメートルのサンプル表面積を持つ円、長方形、および複雑な形状などのさまざまなサンプル構成を可能にします。これは、0.6µmの通常の横解像度で40xから300,000xまでの倍率の選択肢を提供します。Dektakインターフェイスソフトウェアを使用すると、テスト要件に応じて、サンプルトポグラフィの3D画像をさまざまなグラフィカル形式で自動測定、取得、保存、表示できます。詳細な出力グラフを使用すると、トポグラフィの欠陥やその他の不整合を簡単に識別できます。このソフトウェアは、テスト結果の詳細なドキュメントを生成するために使用することもでき、Wi-Fi対応タブレットPCで使用すると、リモートデータ取得操作を可能にします。DEKTAK 8は、迅速な納期で精度、再現性の高い測定を必要とするあらゆるアプリケーションに理想的なソリューションです。この人間工学に基づいたユーザーフレンドリーな装置は、数百回の繰り返し検査で精度を維持するように設計されており、仕様適合試験やその他の信頼性試験に最適です。
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