中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9006097 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 6Mウェーハ試験および計測装置は、半導体やその他の薄膜の表面品質を試験および測定する強力で効率的な方法です。このシステムは、高度な石英結晶バランスを使用して、ステップハイト、地形、2次元表面プロファイル、および0。0668 µm （0。000261 in）の分解能を持つサンプル上の特定の欠陥位置を測定します。この高分解能測定は、特許取得済みのキャパシタンスブリッジベースの水晶バランスによって実現され、非常に低騒音出力と高感度を実現し、優れた再現性と長期安定性を実現します。このユニットは、10mm （0。394インチ）までの調整可能な測定範囲を持ち、ほとんどの実験室の設定に適合するための小さなフットプリントを備えています。また、ノイズレベルを低減し、正確な測定を確実にするための統合された振動アイソレータも含まれています。水晶バランスは、結晶構造を劣化させることなく、高温および環境応力に耐えるように設計された材料から構築され、1600°C （2912°F）までの測定に適しています。このマシンには高解像度のグラフィカルLCDタッチスクリーンが装備されており、簡単なセットアップとナビゲーションで測定と記録データを素早く取得できます。VEECO DEKTAK 6Mは、内部メモリに最大5つのパラメータを格納するために使用でき、データストレージ、分析、およびレポートのためのツールに接続するためのUSBポートを備えています。さらに、乾燥空気パージ資産を使用して、高温プロセス中の腐食を低減することができます。このモデルは、薄膜厚の測定、表面粗さ、欠陥識別、組成分析など、さまざまなウェーハ計測および試験アプリケーション向けに設計されています。また、ウエハーの電気的特性を測定するための装置も内蔵されています。すべての測定パラメータはSLOAN DEKTAK 6Mソフトウェアを介して管理でき、さまざまなファイル形式でエクスポートできます。この汎用性と強力なシステムは、正確で反復可能なウェーハテストと計測を必要とするあらゆるラボにとって大きな財産です。