中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293646046 を販売中
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VEECO/SLOAN DEKTAK 6Mは、半導体の基板上の薄膜層を測定するために半導体業界で使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、金属、酸化物、シリコン、誘電体などの材料の薄膜層を正確かつ正確に測定するために使用されます。このユニットは、電動ステージ、導電性ウェハキャリア、レーザーベースの光投射機、および静電容量ベースの測定ツールで構成されています。電動ステージは、測定のためのウェーハを正確に配置するために使用されます。ステージの速度はさまざまなタイプの基板に合わせて調整可能で、半導体業界の複数のアプリケーションに最適です。ウェーハキャリアを使用してウェーハを固定して測定し、レーザーベースの光プロジェクション資産を使用して薄膜層を正確に測定します。光投影モデルはレーザーと位置感度検出器(PSD)アレイで構成され、距離、形状、エッジ形状を正確に測定できます。この装置には、15ナノメートルの薄膜層を測定するために使用される容量計も含まれています。キャパシタンスメータは、試料上の薄膜層の幅の違いによる静電容量の変化を検出するために、1対の電極板を使用しています。さらに、システムには統合されたソフトウェアスイートが装備されており、測定結果のリアルタイムのグラフ作成、レポート作成、データ分析が可能です。VEECO DEKTAK 6Mは、高圧、高温環境でも過酷な条件に耐え、正確な測定結果を提供するように設計されています。さらに、このユニットは1台のマシンで最大12のプロセス工程を処理できるため、大量の半導体製造に最適なソリューションです。さらに、レンズ径125mmまでのウェーハ基板を測定することができます。全体として、SLOAN DEKTAK 6Mは、薄膜層を迅速かつ正確に測定できる強力なウェハテストおよび計測資産であり、半導体製造に最適なソリューションです。その精度、精度、汎用性は、業界で非常に貴重なツールとなり、メーカーは市場で入手可能な最高品質の製品を提供することができます。
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