中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293639493 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 6Mは、シリコンウェーハの特徴を正確に測定し、さまざまな材料の検査、イメージング、分析を行うために設計された先進的なウェーハ試験および計測機器です。システムは精密な空気軸受けプラットホームに基づいて、自動化された視野の整列の単位および多軸の真空のチャックと共に精密良いレーザーの干渉計の位置エンコーダーを含んでいます。VEECO DEKTAK 6Mは、x-、 y-、およびz軸の正確な変位を可能にし、正確なオートフォーカスと非常に正確なステップと繰り返しのアライメントが可能です。また、表面高、平坦度、ステップ、ライン幅、ピッチ測定など、小さな2Dフィーチャーの複数の高精度な測定データも提供します。このマシンは、オペレータのフットプリントを削減し、ウェーハ測定のスループットと精度を向上させ、手動校正作業を削減する機能を備えています。SLOAN DEKTAK 6Mは、高速かつ超精密な非接触計測を提供します。パッド、ライン幅、ピッチ、ステップ高などの複数の機能を測定できるため、高精度、再現性、高速スループットを実現します。このツールは、焦点を当てたレーザー光源と検出器アセンブリを使用して、ウェーハエッジとフィーチャープロファイル間の距離を測定します。このアセットは、3x2。5ミクロンの最小サイズであっても、さまざまな比率で単一の機能を検出することができます。これは、正確なウェハテストに最適です。DEKTAK 6Mは、自動化されたパターンと機能認識、自動校正、自動プレート間の登録とアライメント、自動高さ調整制御、絶対および差動角度測定など、複数の統合された機能と機能を誇っています。このモデルには、機能位置とパラメトリック解析機能のための高度な画像マッチングアルゴリズムがあり、包括的な光学計測と検査が可能です。VEECO/SLOAN DEKTAK 6Mは、正確かつ安定した動作を保証するために、ウェーハ測定指示と自動測定の包括的なデータベースを備えた高度なメニュー駆動ソフトウェアを含む高度なソフトウェア制御を備えています。包括的なデータベースと自動化された指示により、機器は一貫した精度と再現性で動作します。VEECO DEKTAK 6Mはまた、3D検査機能を備えており、地形や欠陥のサイズ、形状、粗さの分析を可能にします。結論として、SLOAN DEKTAK 6Mは、精密で再現性のある高精度な測定を提供するように設計された高度なウェーハ試験および計測システムです。洗練されたメニュー駆動ソフトウェア、自動検査および登録機能、自動化されたウェーハ測定命令により、幅広いウェーハテスト、イメージング、計測タスクに最適です。