中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9378636 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 3STウェハテストおよび計測装置は、さまざまな半導体プロセスのさまざまなウェハテストを処理およびテストするために構築された高精度の表面プロファイラです。このシステムは、シリコン、ポリシリコン、エピタキシャル材料、窒化物、酸化物などの半導体材料を含む様々な結晶構造の試験を容易にする革新的な設計を特徴としています。この設計には、モニタリング用の高度なセンシングヘッドが組み込まれており、ユニット全体を移動するウェーハの表面プロファイルに応答します。VEECO DEKTAK 3STは、センサー、ムービングアーム、エレクトロニクス、およびその他のサポートエレメントを収容するアルミフレームサポートガントリーを含む連結機械です。ガントリーは、ステンレスフレームに取り付けられたクレードルの重量を量る石英の上に配置されています。ベースフレームはモータアクチュエータにも対応しています。このモーターは水晶浴室を渡るスライドレールによってアルミニウムガントリーを動かすために責任があります。このキットは多軸コントローラを備えており、ユーザーはガントリーの位置、センシングヘッドの感度、センサーヘッドの速度を調整して、さまざまな種類のウエハの表面プロファイルを正確に測定できます。インストゥルメントには、さまざまなソフトウェアアプリケーションが付属しており、ユーザーはデータを分析し、インストゥルメントを校正し、プロファイルデータを保存することができます。この設計には、自動化されたデータ収集と分析のための強力なソフトウェアスイートも備えています。このソフトウェアスイートを使用すると、ウェーハプロファイルの保存と比較、3次元（3D）モデルの作成、データの分析、さまざまな統計モデルの適用が可能になります。このツールには、スキャンヘッドの速度、ピーク検出レベル、さらにはズームイン機能など、さまざまなアセット設定をすばやく調整できる個別のコントロールパネルも含まれています。SLOAN DEKTAK 3 STによって利用される高度なセンサヘッドは、幅広いウェーハ表面の非常に正確で複数のサイト測定を提供することができます。このセンサは、光学技術と干渉測定技術を組み合わせて、任意のウエハの表面形状を正確に測定します。このモデルは、1〜6マイクロメートルの解像度で1つのプレートのデータをキャプチャすることができます。また、DEKTAK 3 STはウェーハマッピング機能を備えており、ウェーハ内の各サイトで均一性と欠陥を確認することができます。DEKTAK 3ST装置は、さまざまなウェーハ表面を測定するための汎用性と高精度のサーフェスプロファイラです。この機器は、高度なセンシングヘッド、自動データ取得、強力なソフトウェアスイートなどのさまざまな機能を備えており、ユーザーはターゲットとするウェーハの表面プロファイルを測定、分析、保存できます。これらのツールを使用すると、ユーザーはウェーハの表面プロファイルを正確に測定し、ウェーハ表面の詳細で高解像度の3Dモデルを作成できます。