中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9351652 を販売中
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ID: 9351652
Wafer surface profiler
Pentium III computer
PANASONIC Colored camera
LCD Monitor, 17"
DEKTAK Hot keys and mouse
HP Printer
Keyboard
Stylus: 2.5 µm
Power supply control box.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3STは、ベンチトップウェハテストおよび計測システムです。ウェーハ製造時に多種多様な半導体パラメータを測定するために設計された汎用性の高い高精度機器です。この3STは、ウェーハの重要なサンプリングおよび統計分析に一般的に使用されます。この機器は、統合されたウェーハハンドリングと自動化されたカセットツーカセットトランスポータを備えており、迅速かつ正確なウェーハテスト、特性評価、および計測プロセスを可能にします。また、3STには直感的なグラフィカルインターフェイスが装備されているため、インストゥルメントを簡単にナビゲーションでき、リアルタイムのテスト結果やデータ視覚化にアクセスできます。この3STは、精密ウェーハ表面スキャン用の特許取得済みの「垂直サーフェスプロファイラ」を採用しています。この高速で高精度なスキャナは、10 μ mの波長で動作し、最大500 μ m/sのスキャン速度を提供します。スキャンヘッドは、高解像度で何千ものデータポイントを収集することができ、ユーザーは幅広いスケールであらゆるウェーハ表面の細部をキャプチャすることができます。3ST独自の計測ソフトウェアは、包括的な結果分析を提供し、不適合ウエハを迅速かつ正確に識別することができます。また、高度なフィルタリングとビニング機能により、ユーザーはノイズや干渉を調整して真の結果を分析する柔軟性を提供します。この3STは、プロファイル、粗さ、表面高さ、厚さ、欠陥および汚染、Webキャスト、穴サイズ、穴の形状など、さまざまな種類のウェハ測定を実行できます。このシステムは、温度制御、湿度制御、および/または振動分離された環境でも動作し、正確な結果を得ることができます。全体として、VEECO DEKTAK 3STは、高度で使いやすいウェーハ試験および計測システムで、高精度な結果を提供し、高品質の半導体を製造するために必要な自信をユーザーに与えます。
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