中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9192102 を販売中

VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST
ID: 9192102
Inspection system.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3STは、ウェーハの分析に精度と精度を提供する没入型技術機能を備えた最先端のウェーハ試験および計測機器です。これは、高度なウェーハテストおよび計測アプリケーションのための広範な高度な測定機能を備えています。VEECO DEKTAK 3STは、ハードウェアから始まり、業界標準のVEECO高分解能静電容量変位ゲージヘッドを備えており、精度と精度を備えています。これは、サンプル移動のための高精度、高精度の電動Zステージを含むモジュラープラットフォームで設計されています。ゲージヘッドとZステージは、強力なグラフィカルユーザーインターフェイスによって管理されているゲージコントローラに接続されています。SLOAN DEKTAK 3 STには、自動フィーチャー認識や高速スキャン速度などの高度な測定機能が搭載されており、正確な特性評価が可能です。ステップハイトが10nm以下の地形検出が可能で、優れた直線性とダイナミックレンジを備えています。このシステムの特許取得済みのAdvanced Endpoint Detection (AED)テクノロジーは、各スキャンセッションの終了点でサンプル形状を正確に特定します。また、DEKTAK 3 STはZ軸の校正精度を向上させ、より一貫した信頼性の高い試験結果を保証します。ユニットはまた、アプリケーションのニーズに応じて、さまざまなオプションを提供しています。高解像度の光学顕微鏡およびスキャン音響顕微鏡機能を提供し、高度なデバイス特性評価、3D表面測定、欠陥解析に最適です。また、低振動絶縁で設計されており、高性能なデータ安定性を提供します。ソフトウェアに関しては、VEECO DEKTAK 3 STは分析、データストレージ、レポート機能を提供する包括的なソフトウェアユーティリティを備えています。このソフトウェアには、3Dイメージング、自動ウェハーマップステッチ、自動パターン認識、およびマシンの強力なハードウェアを活用する欠陥解析プログラムが含まれています。このツールは、ウェーハステップの高さ、表面の地形と均一性、フィルムストレス、ほこりの粒度などの特性を分析することができます。ソフトウェアには、テスト結果を記録するためのデータストレージとレポートツールも含まれています。全体として、DEKTAK 3STは、ウェーハの精密かつ正確な分析を提供する高度なウェーハテストおよび計測資産です。高解像度のゲージヘッド、モーター式のZステージ、データストレージ、分析、レポート用の包括的なソフトウェアスイートを備えています。VEECO/SLOAN DEKTAK 3 STは、信頼性の高いデータとデバイス形状の正確な特性評価を必要とする高性能アプリケーションにとって貴重な資産です。
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