中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9157734 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 3STは、最先端の技術と技術を活用し、幅広い材料や基板に高度な計測機能を提供する強力なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、優れた精度と再現性を含む幅広いパラメータで優れた性能を発揮し、さまざまなウェーハ試験および計測アプリケーションに適しています。VEECO DEKTAK 3STは、3mmの垂直ストローク範囲を持つXY精密位置決めステージと、非磁性ステッピングモータ駆動ピエゾ駆動アクチュエータ、および単軸スタイラスフォースセンサーで構成されています。カスタムデザインのアクチュエータは0。25 µmの精度で高精度の測定を提供し、応答時間は0。45ms、最小ステップサイズは3nmです。また、フォースセンサの感度は0。1mN、範囲は10mNまでです。SLOAN DEKTAK 3 STには、内蔵の5x輝度フィールドおよび暗視野イメージング機能を備えた統合型光学顕微鏡も含まれています。これにより、ユーザーはウェーハの特性と機能を正確に検査することができます。顕微鏡の光学ユニットは、優れたコントラストと画像の鮮明さを提供し、その統合ソフトウェアは、すべての測定を直感的に制御するだけでなく、堅牢なデータストレージと表示機能を提供します。SLOAN DEKTAK 3STの非接触計測機能により、幅広いウエハ材料における抵抗率、ステップ高さ、および地形の直接測定が可能です。このマシンは手動モードで動作し、パラメータはユーザーによって定義されるか、または自動化されたモードで動作します。ここで、ツールは事前に定義されたテスト条件に従って測定するようにプログラムされます。自動化モードは、クローズドループ制御を使用して、広範囲の環境条件または基板条件にわたって測定を繰り返し可能にします。VEECO DEKTAK 3 STは、高度なデータ処理、動的パターン認識、マルチメディアデータ出力など、さまざまな洗練された機能を備えています。これらの機能により、VEECO/SLOAN DEKTAK 3 STは、電気、微小機械、光電子デバイスの特性評価、トラブルシューティング、欠陥検出、故障解析など、さまざまなアプリケーションに最適です。要約すると、DEKTAK 3 STは優れたウェーハテストおよび計測資産であり、さまざまな材料や基材の高精度と再現性を提供します。高度な光学顕微鏡、堅牢なフォースセンサー、統合計測機能、高度なデータ処理およびマルチメディア出力を備えています。これらの機能はすべて、DEKTAK 3STをさまざまなアプリケーションに最適なモデルにしています。