中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9105734 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 3STは、半導体ウェーハの精密解析用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。この自動化システムは、製造プロセス中に半導体ウェーハ上の重要寸法を正確に3次元測定します。VEECO DEKTAK 3STは、特許取得済みの高分解能可変容量トランスデューサを使用して、標準精度範囲2〜10nmの寸法を1nmまで測定できます。また、トランスデューサは非常に柔軟性が高く、複数の金属、セラミックス、誘電材料など、さまざまな材料に使用できます。ユニットは、顧客のニーズに応じて、片面または両面の両方のテストで使用するように設計されています。10インチのプローブプレーナガントリー設計で、± 90°のローディング角度、および手動および自動操作を備えています。ユーザーインターフェイスには、直感的でわかりやすいグラフィックディスプレイ、書式設定、ヘルプスクリーン、機器管理機能が組み込まれており、SLOAN DEKTAK 3 STを簡単に学習および使用できます。X-Yステージで移動するサンプルホルダーは、試験片を配置する際の柔軟性を高め、ユーザーエクスペリエンスをさらに向上させます。測定精度を向上させるために、VEECO DEKTAK 3 STは低共鳴ノイズ、優れた振動絶縁、および温度安定性を備えています。これはまた、さまざまな環境条件からの歪みを軽減するのに役立ちます。さらに、VEECO/SLOAN DEKTAK 3 STには、ツールのトラックアライメントを測定し、エラーを補正するスタイラスパトラメーターマシンが含まれています。アセットは、0。1 SFA-10 mから始まる高アスペクト比、スルーホール、およびその他の機能を測定できるSmall Feature Analysis （μ）機能により、精度をさらに向上させます。最後に、SLOAN DEKTAK 3STから走査型電子顕微鏡（SEM）へのサンプル転送を可能にするSEM転送オプションも提供します。全体として、DEKTAK 3STは、2〜10ナノメートルの精度を持つさまざまな材料での臨界寸法の3次元測定に理想的な選択肢です。Stylus Patrameterシステム、Small Feature Analysis （SFA-10）、 SEM転送オプションなど、さまざまな機能を備えており、測定と精度を最大限に制御できます。使いやすい直感的なメニュー、位置決め用のX-Yステージ、優れた振動絶縁機能を備えたDEKTAK 3 STは、精密半導体工事に携わる人々に理想的な試験および計測ユニットです。