中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9245279 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、VEECO Corporationによって開発された、自動化された精密ウェーハ試験および計測機器です。VEECO DEKTAK 3030シリーズは、超薄膜、臨界寸法、多層構造の正確な測定を提供します。SLOAN DEKTAK 3030シリーズは、アングストローム分解能の精度と最大30mmの測定範囲により、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）とナノテクノロジーの開発において貴重なツールとなります。DEKTAK 3030はコントローラ、ドライブシステム、ウェーハプローブ、ステージで構成されています。コントローラは、プロセスパラメータにアクセス、制御、表示するための直感的なグラフィカルユーザインタフェース（GUI）を提供するマイクロプロセッサベースのユニットです。ドライブマシンは、精密なモーションコントロール、安定性、再現性を提供するリニアモータとロータリーモータの配列で構成されています。ウェーハプローブは、静電容量とレーザー技術を使用して、接触モードまたは非接触モードでサンプルの表面特性を監視および測定します。ステージツールは、機械式、圧電式、およびボイスコイルモータを組み合わせて、プログラム可能なサンプルスキャンおよびトラバース機能を提供します。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030シリーズの主な用途は、ウェーハの表面粗さ、応力、厚さの測定、およびパターン化されたフィーチャーの臨界寸法（CD）およびマイクロエレクトロニクス部品の位置です。このアセットは高精度で、0。2 Angstroms （A）未満の粗さとCD測定、0。5 Aの深さ測定の再現性を提供します。VEECO DEKTAK 3030シリーズは、IC、 MEMS、およびナノスケールのデバイス評価の高度な要件を満たすために、さまざまな自動計測ツールを提供します。それはテストパターンの容易な整列そして位置のためのさまざまなスキャンの作戦を提供します。モデルアーキテクチャは、拡張性、正確性、柔軟性を容易にするために最適化されています。データロギングによるリアルタイムのデータ監視と自動化された操作をサポートします。アップグレード可能な組み込みソフトウェアにより、機器の機能を簡単にプログラム可能にします。このシステムは、高分解能イメージング、測定の速度と精度、非接触モード、非接触容量センシング、およびオプションの統合AFM（原子力顕微鏡）およびSTM（スキャニングトンネリング顕微鏡）などの機能をサポートしています。全体として、SLOAN DEKTAK 3030シリーズは、幅広い用途に高い精度と柔軟性を提供する高度な計測ユニットです。包括的で信頼性の高いウェーハテストと計測を提供することで、製品開発時間とコストを大幅に削減し、高い精度と再現性を確保します。