中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9175618 を販売中
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ID: 9175618
ウェーハサイズ: 6"
Stylus profiler, 6"
Step height measurement range:
Maximum: 100 kÅ
Minimum: 1310 Å
Radius: 12.50 Micron
Controller type: Microprocessor controller
Measuring range: 100Å to 1310kÅ
Scan speed range: Low, medium, high
Vertical resolution:
1Å In the 65kÅ range
10Å In the 655kÅ range
20Å In the 1310kÅ range
Data points per micron: 0.04 - 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 Point programmable or cursor leveling
Stylus: 12.5 Micron, diamond
Maximum sample thickness: 1.75"
Sample stage diameter: 7"
Sample stage translation:
Manual:
X Axis: 6"
Y Axis: 3"
Zoom range: 35x-200x
Power requirements:
110 / 120 V
50 / 60 HZ
1 Phase
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、半導体製造設備の品質管理用に設計された第4世代ウェーハ試験および計測システムです。ウェーハ表面の特徴の大きさや形状をプロファイリングしながら、その特徴の高さや奥行きを測定できる3D非接触スタイラスプローブを搭載しています。VEECO DEKTAK 3030は、最大8インチの直径ウェーハに対応できるステージを装備し、デュアルシャトル設計による基板交換を迅速に行えます。SLOAN DEKTAK 3030の非接触スタイラスは、0。0003インチの精度でウェーハ表面を移動することができ、ユーザーは所定の許容範囲内ではない設計フィーチャーを自動的に認識することができます。このユニットは、簡単な操作と迅速なセットアップのための直感的なメニュー駆動のソフトウェアインターフェイスを備えています。また、このソフトウェアはグラフィカルデータオーバーレイをサポートし、ユーザーにプロファイルデータの可視性を向上させます。さらに、DEKTAK 3030には、最大1,000個のサンプルプロファイルと最大99個の測定レシピが保存され、ウエハタイプ固有の障害管理が可能です。このユニットには、サンプルテーブルのノイズを低減するための振動絶縁、ペーパーテープ穴を使用した機械的プリアライメント、ウェーハの位置を特定するfiducials、低摩擦運動を保証する高効率のエアベアリングなど、多数の追加機能が装備されています。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、優れた速度と精度を提供し、専門的なウエハテストと計測のための信頼性が高く、経済的で正確なソリューションです。
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