中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9169275 を販売中

ID: 9169275
Profilometer surface profile measuring systems.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、半導体業界におけるウェーハ機能の精密測定用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムには、表面および地形の特徴を測定および検査するための統合ユニットが含まれています。すべての測定プロセスは、最高の精度と精度で実行されます。VEECO DEKTAK 3030は、レーザー干渉計とスタイラス技術のユニークな組み合わせを採用しており、ノミナリーフラットおよびノンフラットウエハの測定を行っています。その汎用性の高い設計により、現在半導体業界で使用されている一般的なウェハサイズを幅広くカバーできます。標準ではないウェーハジオメトリに対応するカスタムスキャンオプションも利用できます。この機械のシングルチャネルデータ取得には、3つの測定軸があり、2つは横変位、1つは垂直変位です。これにより、SLOAN DEKTAK 3030は、ウェーハの高さ測定、臨界寸法(CD)測定、表面粗さマッピング、3Dイメージングのサブミクロン分解能を提供します。DEKTAK 3030には、測定の精度を高める高度なソフトウェアがあります。このソフトウェアは、高コントラストのグラフィカルディスプレイを備えており、ユーザーが大きなデータセットを簡単に表示、解釈、分析できるようにすることで、正確さと再現性を保証します。また、高解像度のオートフォーカスおよびトポグラフィ測定のための高度なアルゴリズム、およびさまざまなグラフ形式のフィーチャー状態分析およびデータ表示も含まれています。さらに、VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、タイリング、オートフォーカス、ステップモード、単点、カラーマッピング、3Dイメージング、インスタントレポート生成、後処理、自動測定シーケンス構成など、幅広い測定技術とプロトコルをサポートしています。このツールには、オフライン分析とレポート生成オプションも豊富に用意されています。VEECO DEKTAK 3030は、信頼性が高く堅牢な資産であり、正確で反復可能な結果と比類のないスループットをユーザーに提供します。SLOAN DEKTAK 3030は、多彩な機能と柔軟な設計により、生産および研究所や先進的なプロセス技術の評価に使用できます。
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