中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9096140 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、半導体およびその他の材料の表面トポロジーを測定するために設計されたウェーハ試験および計測システムです。独自のスタイラス技術を使用して、縦方向と横方向の両方の測定で精度と再現性を保証します。VEECO DEKTAK 3030は、直径200mmまでのウェーハに対応できるステージを備え、広いサンプルエリアを提供します。このスタイラスは、ウェーハの表面層の凹凸を測定するために設計されており、垂直分解能は0。30 μ m、側面分解能は0。50 μ mです。スタイラスは圧電素子と結合されており、サンプル全体の正確な測定に役立ちます。スタイラスにはスプリング式の圧力棒があり、測定中の環境振動を排除するのに役立ちます。SLOAN DEKTAK 3030は、ユニークなコンタクトセンサー技術を使用して、ウェーハ表面の安定したスタイラス圧力を維持します。コンタクトセンサーの背後にある高度な電子機器は、アルゴリズム駆動のアプローチを通じて自動スタイラスリフトを提供します。このシステムには、制御されたエアフローを提供し、外部干渉を制限するためのシールドエンクロージャと、簡単な操作のためのカラーLCDモニターも含まれています。DEKTAK 3030は、ステップの高さ、クリティカルな寸法、粗さ、コーナー/エッジのシャープネスなどの表面フィーチャーの寸法と形状を敏感かつ正確に測定します。ウエハータイプを問わず、あらゆる条件で測定が可能なため、さまざまな計測アプリケーションに最適です。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、機械精度と光学技術の組み合わせにより、立体形状を測定する機能など、いくつかのユニークな機能を備えています。ISO 9001のような国際的な計測基準に準拠した高精度な統計および再現可能な測定を提供します。信頼できるデータ収集を確実にするために、データポイントからプロファイルを分析および計算する幅広い統計アルゴリズムが付属しています。VEECO DEKTAK 3030は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスなどのソフトウェアの革新を備えており、操作が簡単です。また、安全性とデータ整合性を向上させるための自動スタイラスリフティングなど、さまざまな自動機能を備えています。さまざまなコンピュータインターフェースをサポートし、既存の計測システムに簡単に統合できます。全体として、SLOAN DEKTAK 3030は、半導体などの表面トポロジーを高精度かつ再現性で測定するために設計された、機能豊富な先進的なウェーハ試験および計測システムです。その高度なエレクトロニクス、統合されたシールド、包括的なソフトウェアは、計測アプリケーションの広い範囲のための汎用性の高い選択肢となります。