中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9012550 を販売中

ID: 9012550
Surface profiler, 3ST Nonfunctional.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、半導体アプリケーションに使用される高度なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ナノスケールでのデバイスおよび回路特性の正確な測定を提供するように設計されています。このユニットは、最大150mm×150mmの大型ワーキングエリアを備えた3軸ステージデザインを備えています。平面と非平面の両方のウェーハ測定用に設計されており、ユーザーは3次元空間でデータを正確にキャプチャすることができます。X軸とY軸で最大8nm、 Z軸で0。5 nmの解像度で高精度スキャンが可能です。VEECO DEKTAK 3030には、高速かつ効率的なウェハローディングとアンロード、高速スキャン機、コマンドシーケンスと調整可能なスキャン速度を備えたデジタル制御ツールなど、スループットを向上させるために設計されたいくつかの機能が含まれています。この資産は強力な独自ソフトウェアと統合されており、ユーザーはテストパラメータをカスタマイズし、データを迅速かつ簡単に分析することができます。SLOAN DEKTAK 3030では、ウェーハトポグラフィ、ステップ高さ測定、デバイスプロファイリング、およびリソグラフィ忠実度など、幅広いアプリケーションを実行できます。このモデルは、フラットとカーブの両方のウェーハを測定することができ、長距離スキャン、オーバーレイ測定、および複数のレーザーエッチングなどの機能が含まれています。DEKTAK 3030には、他のシステムよりもはるかに高速で正しい動作を保証するための高度な安全機能も含まれています。デジタル信号プロセッサを搭載し、ISO/IEC 61010の安全規格に準拠しています。装置のすべての部品は防塵で、電気騒音から保護されており、最高の精度と信頼性の高い結果を保証します。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、さまざまなアプリケーションに適した強力なウェーハ試験および計測システムです。大型ワーキングエリアに精度の高い3軸設計を採用し、高精度な測定が可能です。さらに、コマンドシーケンスや調整可能なスキャン速度、強力な独自ソフトウェアなど、ユーザーの作業を簡素化する機能も備えています。最後に、ユニットは、正確さと安全な動作を確保するために、いくつかの安全機能が装備されています。
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