中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293815554 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、さまざまな高スループットおよび時間重大な環境で正確で信頼性の高い結果を提供するように設計されたウェーハテストおよび計測機器です。特許取得済みのAutostop®垂直範囲を備えた精密で低力なXYZジンバルタイプのプローブと、垂直および横方向のスキャンを組み合わせて、幅広いウェハの厚さとC方向のデータを正確に取得します。VEECO DEKTAK 3030システムは、0。5〜3。8マイクロメートルの平坦度、粗さなどのさまざまなウエハレベルを解析することができ、幅広い半導体材料の斜面や欠陥を検出することができます。SLOAN DEKTAK 3030には統合ビジョンユニットが装備されており、単一のウェーハ上で2つの異なるサイトをわずか2分で同時に測定することができます。手動で実行すると数分かかります。スキャン速度やプログラム可能な解像度などの機能により、DEKTAK 3030マシンはアプリケーションと環境の特定のニーズに合わせて調整できます。さらに、このツールはZ制御Asset™を使用して、速度、精度、再現性を向上させます。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030モデルのタッチスクリーンインターフェイスは、操作を制御し、結果をリアルタイムでグラフィカルに表示するために使用されます。装置は、任意の数のウェーハパラメータを追跡し、スキャンされたウェーハのスケール画像を表示し、3次元モデルを作成します。VEECO DEKTAK 3030システムには、機能解析、高度なプロセス分析およびレビュー、多項式フィルタリング、平坦度/厚さプロファイル抽出など、アプリケーション固有のソフトウェア機能も多数搭載されています。SLOAN DEKTAK 3030は、独自の計測システムとオープンな業界計測システムの両方と接続するように設計されています。シングルウェーハやより大きなウェーハロットの分析に使用でき、高速ウェーハテスト、計測、生産ライン工程におけるプロセス特性評価およびフロー測定に最適です。DEKTAK 3030ユニットは、高度なウェーハ測定および分析に最適な、さまざまな先進的な研究および生産アプリケーションに最適です。