中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293600243 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、ウェーハ表面平坦度、膜厚、その他の重要なウェーハパラメータを測定するために使用される高度なウェーハ試験および計測装置です。VEECO DEKTAK 3030は、技術的に高度な試験および計測システムとして、膜厚、表面反射率、スペクトル放出、表面粗さ、および地形など、幅広いパラメータに対して高精度な結果を提供します。DEKTAKユニットは、複数の構成を可能にするモジュラー設計に基づいています。XYステージ、Z軸モーションモジュール、サンプルインタフェースモジュール、Z軸サンプル操作モジュールで構成されています。XYステージは、最大12のマイクロインチ分解能と16〜100ナノメートルの精度の2軸、高速、精密なステージです。このステージは、スムーズな性能と充実した負荷容量を提供するマイクロメーター制御のドライブマシンによって駆動されます。Z軸モーションモジュールは、フェロフルイド密閉スライドから構成され、アークの10秒単位で移動することができます。このモジュールは、3次元のサンプル操作を可能にすることで、ツールの測定精度を向上させます。サンプルインターフェースモジュールは、さまざまなサンプルホルダーで使用でき、SLOAN DEKTAK 3030へのサンプルの正確なロードを容易にします。これは、さまざまなサイズと形状のサンプルの処理を可能にする真空アセットが含まれています。最後に、z軸サンプル操作モジュールを使用すると、テスト中にサンプルの位置を正確に制御できます。このモジュールは、洗練された多軸リニアアクチュエータ、力とトルクセンサー、ソフトスタート機能を備えています。DEKTAK 3030の試験機能には、膜厚、表面反射率、スペクトル放射、表面粗さ、地形など、幅広いウエハーパラメータが含まれます。このモデルは、詳細なパターン粗さプロファイルと気孔間隔、および総平均長距離粗さ（TRL）値を測定することができます。これにより、ウェーハの平坦性と表面品質を検証することができます。さらに、VEECO/SLOAN DEKTAK 3030は、5〜500nmの薄膜厚、コーティング均一性や光学薄膜厚などの薄膜特性を測定できます。全体として、VEECO DEKTAK 3030は、ウェーハおよびその他のサンプルの試験および計測に適した汎用性と正確な装置です。モジュラー設計、高精度段階、サンプル操作機能を組み合わせることで、ウェーハの平坦性と薄膜特性を検証する強力なツールとなります。このシステムは、ウェーハテストと計測のための信頼性と費用対効果の高いソリューションをラボに提供します。