中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9189408 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 3は、膜厚、サイドウォール角度、表面形状、走査型電子顕微鏡（SEM）の測定に使用されるウェハテストおよび計測機器です。サンプルサイズは2。5〜6インチ（9。5cm〜15。2cm）です。VEECO DEKTAK 3は、上面ビューポート、統合された低真空スキャン電子顕微鏡（SEM）検出器、および自動高さ追従ヘッドプラットフォームを備えた金属フレーム設計から構築されています。SLOAN DEKTAK 3は、サンプルアライメントと測定に自動化された制御と、1回のスキャンで最大100枚のフィルムを測定できる統合されたリモートフィルム測定ユニットを使用しています。また、サンプルの傾きやスキャンサイズを調整して正確な測定を行う独自の位置補正機能も備えています。また、DEKTAK 3のイメージングマシンを使用して測定結果を表示し、スキャンパラメータを変更することもできます。VEECO/SLOAN DEKTAK 3は、ピエゾ電動アクチュエータで駆動されるユニークなマイクロポジショナーを使用しています。これにより、測定において非常に高い精度が得られます。通常、精度は1ナノメートル程度です。VEECO DEKTAK 3は、特許取得済みのエッジ検出ツールを使用して、サイドウォール角度、粗面形状、膜厚を測定できます。さらに、このアセットは、バークハウゼンの騒音解析技術を使用して、表面付近の磁場を評価します。表面解析用に、SLOAN DEKTAK 3には、走査型電子顕微鏡（SEM）でトンネリング電流を検出するように設計された検出器モデルが内蔵されています。機器には専用のワークステーションも含まれており、ユーザーはすべての設定を制御し、SEMの結果をリアルタイムで表示することができます。DEKTAK 3には、高品質のフィルム測定用に、反射と透過の両方でフィルムを分析するために設計された統合された光学膜厚モニタ（IFTM）も含まれています。IFTMは光学系を使用して、1〜2ナノメートルの正確な膜厚を測定します。最後に、VEECO/SLOAN DEKTAK 3には、すべてのマシンのコンポーネントから記録された読み出しデータをキャプチャできる自動データ収集ユニットが装備されています。このツールは、ロボットによって撮影されたすべてのデータが適切にキャプチャされ、後で分析されるように記録され、資産の全体的なパフォーマンスをよりよく把握できるようにするために使用されます。VEECO DEKTAK 3は、独自のソフトウェア機能で正確な測定を提供する高度なウェーハテストおよび計測モデルです。正確な測定が必要な業界や、自動データの取得や分析が必要な業界に最適です。