中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #293681691 を販売中
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3は、様々な材料の地形や薄膜厚の測定に使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムの設計は、数百ナノメートルからミリまでの高精度な測定を提供し、さまざまな材料を提供します。静電容量原理を使用してサンプルの地形を測定し、ユーザーはその表面形状と特性を正確にマッピングできます。本体の主成分には、エアベアリングステージ、レーザー干渉計、レーザー変位センサー、光学顕微鏡などがあります。エアベアリングステージは、レーザー干渉計と事前に調整されているため、サンプルを簡単かつ正確に配置することができます。干渉計は、薄膜および厚膜構造の地形、および平坦および粗い表面を正確に測定するために、さまざまなモードで動作します。レーザー変位センサは、サンプルの地形の高さをサブミクロメータの精度で測定するために使用されます。赤いHe-Neレーザーと、サンプルからのレーザーのたわみを監視する検出器で構成されています。最後に、光学顕微鏡には、レーザー変位センサよりも大きな視野を得るための光学部品が含まれており、拡大率の高い薄膜構造の比較が可能です。VEECO DEKTAK 3によって得られた測定値を使用して、プロセスのバリエーションを正確に検出し、ウェーハの非均一性を特定できます。さらに、その洗練されたソフトウェアは、機械を動的に校正し、測定結果の不確実性を低減します。ソフトウェアはまた、相関、補間、および得られた測定に関する他の分析を実行することができます。最後に、このツールは幅広い環境条件に対応するように設計されており、濡れた環境やクリーンルーム環境で使用することができます。また、サンプル互換性の問題を最小限に抑えるように設計されており、幅広い材料を使用できます。さらに、SLOAN DEKTAK 3はポータブルで、異なるラボで簡単に輸送および使用できます。全体として、DEKTAK 3はウェーハテストと計測のための非常に強力で汎用性の高いツールです。高度な光学センサと静電容量センサ、素晴らしいソフトウェア、ポータビリティを組み合わせることで、幅広い測定および分析に最適です。
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