中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 1600 #139297 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 1600は、精度と正確な表面計測に最適なウェーハ計測および試験装置です。VEECO DEKTAK 1600は、高度なイメージング、モーションシステム、ソフトウェアアルゴリズムを組み合わせて、半導体ウェーハの高分解能3D表面測定を行います。これは、高度な半導体アプリケーションの厳しい要件を満たすために、自動ウェハレベルの粗さ、平坦度、およびステップ高さ解析用に設計されています。SLOAN DEKTAK 1600は、クローズドループ動作技術にマッチした精密光学システムを備えており、最高の精度を提供します。これには、ラインスキャン、スキャンスポット測定、エリアスキャン機能のための統合されたイメージングユニットが含まれています。また、複数のウェハサイトをスキャンする際にアライメント精度と再現性を保証する自動チャックハンドリングマシンを備えています。このツールは3軸電動ステージで設計されており、クラス最高の再現性0。1nmで高さ20 μ mまでのシングルステップ測定が可能です。DEKTAK 1600は、標準材料、非標準材料、柔らかい材料など、幅広い用途や材料を測定することができます。VEECO/SLOAN DEKTAK 1600は2つの操作モードで設計されています。スキャンモードは、ウェーハの表面を素早くサーベイしてウェーハバンプやステップを検出するように設計されています。Calibrated Modeは、ユーザーが特定のレーザー出力レベル、速度、フィールドサイズ、焦点深度を設定できるため、精密測定用に設計されています。集積時間、データレベル、露光時間、ゲイン、オフセットなど多数の測定パラメータを入力することで、10〜45 μ mの高精度な分解能を実現します。VEECO DEKTAK 1600は、計測、解析、および表面データのマッピングのための高度なソフトウェアアルゴリズムを備えており、プロセス制御を高速化します。Webベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と自動化されたウェハレベルレポートが含まれており、プロセス分析とトラブルシューティングを高速化できます。アセットの自動データ収集および分析により、手動測定エラーも排除されます。SLOAN DEKTAK 1600は、ガス、真空、液体、工作機械を必要としないため、クリーンルーム環境での使用に適しています。このモデルは、ほとんどの業界標準のラボおよびクリーンルームのオートメーションシステムと互換性があり、イーサネット接続を介してPCやデータアーカイブに直接接続します。最小限の予防メンテナンスが必要で、工場統合のためのコンパクトな設計が必要です。