中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #9358816 を販売中
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VEECO/SLOAN DEKTAK 150は、ウェーハおよびその他の関連部品の信頼性の高い自動測定を提供するように設計された業界をリードするウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、半導体試験やプロセス制御などの高精度アプリケーションに適しています。VEECO DEKTAK 150は、ウェーハ操作用のロボットアームとスキャンヘッド、精密測定用の計測レーザープローブ、専用ソフトウェアを備えた統合コンピュータマシンを備えたプラットフォームベースのユニットです。このツールの高度な計測レーザープローブは、表面地形、パターン認識、形状、および統合チップの特徴を含むさまざまなパラメータを測定することができます。アセットのロボットアームは、テスト中にウェーハを保持し、プログラムされた一連の動作と測定を介して動作します。放射状に2「垂直6」の動作範囲を持ち、最大直径200mmのウェーハを精密に操作できます。ビジョンベースのウェーハ位置決めモデルにより、レーザープロービングを開始する前にウェーハを迅速かつ正確に位置決めできます。SLOAN DEKTAK 150は、2 Angstromの解像度で動作する高精度スキャンヘッドを採用し、最大200mmのスキャン範囲を実現しています。また、高度な表面計測のために、異なるスペクトル波長を持つ2つのレーザープローブも組み込まれています。このレーザープロービングシステムは、さまざまなメーカーのさまざまな種類のウェーハに対応し、わずか1 Angstromの解像度でデータを取得します。DEKTAK 150は、パターン認識と表面解析を統合したユニットです。それは統合された破片の形そして特徴の輪郭そして複雑さを学ぶことができます。また、設計承認された図面からウェーハの表面地形を検出して分析することもできます。VEECO/SLOAN DEKTAK 150は、ツールの操作と管理を可能にする制御コンピュータと統合されています。この高度なコンピュータアセットは、AIベースのソフトウェアアルゴリズムを備えており、大型ディスプレイモニターで見ることができるモデルとデータ分析のカスタマイズ操作を可能にします。結論として、VEECO DEKTAK 150は、高精度の測定と表面分析のために設計された強力で効率的なウェーハ試験および計測機器です。高度な計測レーザープローブ、ロボットアーム、ビジョンベースのウェーハ位置決めシステム、および統合されたパターン認識および表面解析ユニットにより、正確な制御とデータ収集が可能です。マシンの制御コンピュータとソフトウェアアルゴリズムは、ツールの簡単な操作とデータ分析を提供します。
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