中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #9281986 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 150は、半導体デバイス製造用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、エッジ位置、表面トポグラフィー、および表面粗さなどのウェーハ表面特性を正確に測定します。バンプ、ピット、ステップ、表面汚染物質などの特徴を測定できます。このユニットは、スタイラスのチッププローブを使用してサンプルウェーハをスキャンして測定します。プローブはリニアモータに接続されたアームに取り付けられます。このモーターは回転アームを動かし、ウェーハ表面に対してスタイラスの位置を調整します。また、ウェーハへのプローブの正確なアライメントを容易にする自動レベリングツールも搭載しています。このアセットは、静電容量、干渉計、光学プロフィロメータなど、さまざまなセンサ技術で構成することができます。センサの種類ごとに、モデルにはウェハの表面形状を測定するためにスタイラスのヒントでスキャンされる光学フリンジが含まれています。VEECO DEKTAK 150のソフトウェア機能により、ユーザ定義のキャリブレーションおよび解析設定パラメータが可能になります。また、ヘルプ機能を備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルメニューインターフェイスが含まれているため、機器のナビゲートや特定の機能へのアクセスが簡単です。さらに、このシステムは強力なデータ分析機能を提供し、レポート、テーブル、およびチャートを生成して完全なウェーハ調査を行うことができます。単位はまた容易なデータ貯蔵およびデータ交換のためのさまざまなフォーマットでデータを救うことができます。SLOAN DEKTAK 150は、信頼性が高く効率的なウェーハ試験および計測機です。これは、迅速なデータ取得、高い信頼性、および計測試験の優れた精度を提供するため、研究および生産環境で広く使用されています。このツールの自動化された機能により、正確なウェーハ特性測定を迅速かつ正確に行うことが容易になります。