中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293810864 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 150は、半導体ウェーハ表面の非接触および接触測定を提供するウェーハ試験および計測機器です。回折と干渉を組み合わせた高度な光学システムを搭載し、静的および動的な表面特性評価を行います。VEECO DEKTAK 150は、ウェーハ表面の曲率、プロファイル、およびその他の顕微鏡的特徴を正確に測定するために使用される非接触サーフェススキャナを備えています。これは、0。306ミクロン（30nm）以上の範囲までの異なる表面輪郭を測定することができ、また、3次元データポイントで測定を記録することができます。SLOAN DEKTAK 150は、サーボモータ駆動のZ軸ステージと、レーザープロファイリングユニットを内蔵した高度な光学顕微鏡を使用して、測定精度を確保します。さらに、このユニットは、データ収集、操作、分析を自動化するPCベースのソフトウェアによって駆動されます。DEKTAK 150には、ウェハやサンプルの抵抗を測定するために使用されるコンタクトスタイラスも装備されています。高精度なセンサにより、0。1nmまでの測定解像度を実現しています。このツールで使用されるスタイラスは、さまざまなプローブで構成されており、さまざまな測定を最大限に柔軟に行うことができます。さらに、VEECO/SLOAN DEKTAK 150には、測定プロセスを自動化する自動検査および分析アセットが装備されており、結果の向上と再現性の向上を実現します。全体として、VEECO DEKTAK 150は、ウェーハ特性評価アプリケーションにおいて優れた結果を提供する高度なウェーハテストおよび計測モデルです。信頼性が高く正確であり、ユーザーのインタラクションを最小限に抑えて正確な測定を行います。高度な光学機器と接触スタイラスにより、異なる表面輪郭、地形、および抵抗を測定することができます。その結果、SLOAN DEKTAK 150は、多くのウェハ製造プロセスに最適なシステムです。