中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293665803 を販売中

VEECO/SLOAN DEKTAK 150は、精度と精度の高い半導体の地形と厚さを測定するために使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、独自のID追跡ユニットを備えており、ユーザーは以前に分析されたウェーハを見つけることができます。さらに、VEECO DEKTAK 150は、最大直径6インチのウェーハを測定することができ、ターゲット位置の0.5µm以内にウェーハを提示します。SLOAN DEKTAK 150は、レーザー干渉計（PSI）の位置検出フィードバックを利用してウェーハトポロジを測定する、スプリング荷重ポジショナー（SLP）に裏打ちされた垂直スタイラスを利用した非破壊試験ツールです。ダイナミックレンジ・トラッキングと相まって、DEKTAK 150は任意の範囲でスタイラス・トラベルの全範囲を利用でき、測定中もヒント・ツー・サンプル・アライメントを維持します。SLPアセットは、ウェハの厚さを測定するためにも使用されます。これは、垂直スタイラスの力を制御することによって動作するZサーボコントロールループを使用して行われます。所望の力を設定することにより、垂直のスタイラスは、適用された力が調整されるのと同じ物理的な位置に残ります。力を下げると、スタイラスはウェーハのより高い高度に近づくことができ、ウェーハの厚さを測定することができます。VEECO/SLOAN DEKTAK 150は、ウェーハを測定する際の異常粒子検出も可能です。このモードでは、スタイラスが地形を測定し続けるにつれて、3軸ステージが徐々にウェーハを横切って移動します。スタイラスによって検出された高さのオブジェクトはモデルに記録され、さらに分析することができます。VEECO DEKTAK 150には、その使用をさらに利用して簡素化するための一連のプログラムもあります。その中には、ウェーハトポロジのバリエーションを定義、分析、比較するために使用される包括的な機能セットを提供するFeature Analysisプログラムがあります。定義されると、フィーチャーは反復的に処理され、さらなる統計的およびグラフィカル分析のために分類されます。SLOAN DEKTAK 150は、半導体デバイスメーカーが生産の開発、最適化、診断を支援する貴重なツールです。その高精度な測定と汎用性の高い機能セットは、ウェーハテストと計測に興味のある人にとって貴重な資産です。