中古 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293653436 を販売中
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VEECO/SLOAN DEKTAK 150は、さまざまな半導体ウェーハの分析に使用されるウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、表面粗さ、ドーパント濃度、抵抗率など、ウェーハのさまざまな特性を測定することができます。VEECO DEKTAK 150は、半導体基板を解析するための統合ソリューションです。ロボットサンプル処理ステージ、数点程度のプローブステーション、サンプルステージで構成されています。ロボットユニットは、6軸ロボットアームと手動搬送機を備えており、サンプル積載が可能です。プローブステーションは、表面粗さ、抵抗率、ドーパント濃度などのウェーハの特定の物理的特性を正確に測定することができます。プローブステーションには、高解像度の光学顕微鏡、干渉計、X線回折ツールが含まれています。レーザー干渉計は、表面粗さの高精度な測定を提供します。X線アセットは、ウェーハ内のドーパント濃度を得るのに役立ちます。SLOAN DEKTAK 150には、複数のサンプルステージも含まれています。これらは、サンプルの動きを容易にしたり、試験中にサンプルの安定性を追加するために使用できます。このモデルは高度に自動化されており、複数のウェーハテストを同時に実行できます。高度なソフトウェア制御ロジックにより、テストを実行する際に高い精度と再現性を実現します。この装置には、プローブ位置監視やユーザーの安全を確保するための安全障壁など、いくつかの安全機能も含まれています。DEKTAK 150は完全に統合され、使いやすいです。欠陥検出、故障解析、歩留まり管理など、複数のアプリケーションに使用できます。このシステムは、信頼性と再現性の高い結果を提供し、半導体業界において非常に貴重なツールです。
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