中古 VEECO Profilometer #293671953 を販売中
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ID: 293671953
VEECO ProFilerは、表面形状、結晶方向、欠陥サイズ、ドーピング、深度などのハイエンド半導体チップのパラメータを測定するために設計されたウェハテストおよび計測システムです。最新のオートメーション技術とデジタルイメージング技術を活用したProFilerは、ユーザーの快適さを最大限に引き出す幅広い計測機能を提供します。ProFilerは、最も複雑なチップから単純なMEMS構造までのウェーハの非破壊評価を可能にします。VEECO ProFilerは、高精度で高感度な交換可能なスキャンプローブを使用して、電気、材料、物性の不規則性を検出します。ProFilerは、特許取得済みのマルチポインターズーム機能を使用して、最大4インチおよび6インチのウェーハをスキャンし、ナノメートルの解像度でパラメータを測定できます。さらに、統合されたX-Yコンピュータ制御ステージは、MicronStepを使用して完全に自動化されたパフォーマンスを提供します。送信機内のProFilerのCCDデジタルイメージは、散乱光を利用して、地形の特徴をマッピングするのではなく、微細構造を研究します。ナノスケールの3D構造や電気的な不連続による光の散乱領域などの特徴を検出するために使用できます。これは、隣接する構造、欠陥、および同じ境界下の欠陥を迅速かつ正確に区別するのに役立ちます。これは、プロービング(エッチング)と修正(テクスチャリング)のための正確な測定を提供するのに役立ちます。VEECO ProFilerのユーザーフレンドリーなインターフェイスは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えているため、ユーザーはすばやく測定を設定できます。また、包括的なデータ分析機能も備えており、ユーザーはウェーハテストによって収集されたデータを調査および評価することができます。要約すると、VEECO ProFilerは高精度で高感度なウェハテストおよび計測システムであり、ハイエンド半導体チップのパラメータ測定に利用できます。交換可能なスキャンプローブ、X-Yコンピュータ制御ステージ、トランスミッタ内のCCDデジタルイメージ、およびユーザーフレンドリーなGUIを使用して、プローブと修正のための正確な測定を提供します。さらに、ProFilerには、ウェーハテストによって収集されたデータを調査および評価するための包括的なデータ分析機能が含まれています。
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