中古 VEECO Oasis 3000 #9002001 を販売中

製造業者
VEECO
モデル
Oasis 3000
ID: 9002001
Deep UV defect inspection system Missing the 100x objective.
VEECO Oasis 3000は、生産環境におけるウェーハの正確で自動化された計測およびテスト用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。洗練された光学系、モーションコントロールシステム、優れた測定精度を備えています。Oasis 3000は、ウェーハの表面全体にわたる正確な位置決めと自動化されたパターン測定のための5軸モーションコントロールを備えています。光学機器は、最大90倍の倍率を実現する2ミラーイメージングツールで構成され、さまざまなスケールで重要な機能測定が可能です。統合されたイメージ投射の電子工学は正確な読書のために可能な最高の決断を保障します。VEECO Oasis 3000は、さまざまな要求の厳しい測定に適した、パワフルで使いやすい資産です。真のウェーハスケールのステップアンドスキャンモードにより、大規模ウェーハの迅速な処理が可能ですが、その均一性は優れた精度と再現性を提供します。さらに、Oasis 3000は、パフォーマンスゲートなどの重要な特性の自動決定、プロセス余白の評価、実際および期待される試験結果の比較など、強力なデータ分析機能を提供します。これにより、生産プロセスのトレンドと潜在的な問題を迅速に特定でき、プロセスの迅速な最適化が可能になります。VEECO Oasis 3000は、最も過酷な生産環境に耐えるように設計されています。ステンレスフレームは堅牢性を確保し、停電後もリセット不要で連続運転が可能です。このモデルは、統合された液体冷却を提供し、最高の超信頼性と最小ノイズのためにファンレスです。全体として、Oasis 3000ウェーハ試験および計測機器は、信頼性が高く正確で再現性のある結果を提供することができ、大量生産環境での効率的な生産と品質管理を可能にします。その洗練された光学系とモーションコントロールシステムにより、オペレータは最大の歩留まりと性能を達成するために必要な柔軟性と精度を制御できます。
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