中古 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340 #9270545 を販売中

VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340装置は、重要なウェーハ特性を高速かつ高精度に測定できるように設計されたウェーハ試験および計測システムです。このユニットは、4タイルアーキテクチャ、環境制御、拡張可視波長、およびスループットとパフォーマンスを向上させるための高精度ビームステアリングなどの高度な機能を提供します。4タイルを内蔵しており、複数のパスにウェーハを配置できるため、高速なウェーハ試験が可能です。この機能により、単一のウェハタイプまたはシングルパスシーケンスへの依存性も低減され、精度と再現性が向上したため、より効率的なリソグラフィープロセスにつながります。このツールには動的ビームステアリング機能も装備されており、ランダムエラーなしで高精度のビーム位置決めが可能です。幅広いウェーハサイズや素材に対応しており、ウェーハの奥行きを問わず特徴測定が可能で、デバイス全体の高精度な計測が可能です。また、ウェーハ周辺の温度や湿度を制御する高度な環境制御モデルを採用し、安定した結果を得ることができます。また、自動化されたチューニングシステムを備えているため、ウェーハの乱れに素早く適応し、高精度な表面測定に適合することができます。また、VX 340マシンには拡張可能な可視波長ツールが内蔵されており、計測および試験結果の高分解能特性評価が可能です。これは高度なソフトウェアアルゴリズムによって実現され、各サンプルに最適な画像キャプチャパラメータを選択して最適化することができます。最後に、このモデルは、オペレータの干渉を最小限に抑えるとともに、スループットを向上させるために、さまざまなユーザーフレンドリーな機能を採用しています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスと直感的な測定機能を備えたVEECO Dimension VX 340装置は、高性能のウェーハテストと計測に最適なソリューションです。