中古 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330 #9379227 を販売中

VEECO Dimensions VX 330は、半導体生産の厳しい要求を満たすように設計された高度なウェーハ試験および計測機器です。強力な精密測定ハードウェア、高度な顕微鏡光学、最新のビデオエレクトロニクスを活用して、ウェーハやサンプルを迅速かつ正確に測定できます。このユニットは精密な3軸モーションプラットフォームを備えており、X-Y-Z解像度を3ナノメートルまで下げることで、広い作業領域にわたって再現可能なスキャン精度を提供します。高解像度カメラは、最大6ミクロンの解像度で画像データをキャプチャできます。自動エッジズームおよびターゲティング機能により、高精度で高速な測定アライメントが可能です。また、150mmと200mmの両方のウェハに対応できる高性能グラファイト/セラミックサンプルステージを備えています。特許取得済みのハイブリッドピエゾアクチュエータを使用して、ステージは安定した反復可能な結果を得るための優れた直線性とヒステリシス特性を備えています。自己診断および活動的な水平になることはウェーハの変更を速く、正確にさせます。VX 330には高度な解析ソフトウェアが付属しており、ウェーハ平坦度、臨界寸法（CD）測定、オーバーレイ結果から定量的な3D輪郭画像まで、幅広い表面計測アプリケーションに対応しています。産業グレードの3Dイメージングアルゴリズムにより、複雑なサンプルを迅速かつ正確に3Dプロファイリングできます。このツールは、包括的な統計分析、自動レポート機能、サンプルアーカイブツールと組み合わせることで、最新の生産試験施設向けの包括的なウェハテストおよび計測ソリューションを提供します。さらに、アセットはアーキテクチャおよびソフトウェアのアップグレードが可能であり、新しいテクノロジーへの移行パスを提供し、テストスループットと再現性を向上させます。