中古 VEECO / DEKTAK V 300Si #293585852 を販売中

VEECO/DEKTAK V 300Siは、正確で再現可能な測定と高度なプロセス制御をコンパクトなフォームファクタで提供するように設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、小規模研究施設から大規模工業拠点まで、幅広い実験室や生産試験環境に適しています。このユニットは、直径300mmまでのサンプルを測定するための軽量で剛性のあるクローズドループXYZステージと組み合わされた、完全に統合された非接触式の3軸計測機を備えています。非接触計測ツールは、高度なレーザー三角測量技術を使用しており、大規模なΔザクチュエーションにわたって高精度、低ノイズ、および線形再現性の測定を可能にします。このアセットはまた、サンプル表面の高精度な傾きおよび回転測定のための独自の二軸ステージを備えています。VEECO V-300SIは、ウェーハテスト用に機械式ウェーハプローブモデルを採用しており、最大12インチのウェーハの非破壊検査と測定が可能です。この装置は、高コントラスト画像を提供するバックライト付き校正システムを備えており、反射率、バックスキャッター、均質性などの表面粗さ、表面高さ、および光学パラメータを正確に測定できます。高度なプロセス制御と解析のために、DEKTAK V-300 SIは高度なアルゴリズムを使用してサンプル表面の特徴を特定し、線幅と空間幅、臨界寸法、および非均一性などの重要なパラメータをマッピングします。このユニットにはユニークなドリフト補正アルゴリズムも含まれており、時間の経過とともにウェーハの平坦性の小さな変化を補うことができます。ユーザーインターフェイスの面では、VEECO/DEKTAK V-300 SIは、グラフィカルな意思決定サービスと自動データ分析を備えた直感的で使いやすいソフトウェアを備えています。また、さまざまなプログラミング言語とAPIが付属しており、ユーザーはテスト環境をカスタマイズしてマシンの能力を最大限に引き出すことができます。全体的に、DEKTAK V 300Siは、正確で再現可能な測定と高度なプロセス制御をコンパクトなフォームファクタで提供するように設計された高度なウェーハテストおよび計測ツールです。ユニークな非接触計測アセットと高度な解析アルゴリズムを備えたこのモデルは、幅広い実験室および生産試験環境に最適です。