中古 VEECO / DEKTAK 8000 #9328743 を販売中

VEECO/DEKTAK 8000は、半導体デバイスおよび材料の電気特性を正確に測定するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。高精度の試験と計測ソリューションを統合して提供し、プロセスの歩留まりと製造効率を最適化します。VEECO 8000は、高度なナノスケール解析およびイメージング技術を使用して、パターン化された表面の非破壊的なオンザフライ測定を実行します。精密フォースフィードバックを統合し、解像度の向上、高精度読み取り、高速スループットを実現します。このシステムは、より高い品質の結果を提供し、製品の歩留まりを改善し、コストを削減します。内蔵の電動ステージにより、0。05ミクロン以内に正確なサンプル位置決めが可能です。組み込みの設定可能な基板マッピング機能と自動アライメント機能により、DEKTAK 8000は他のシステムとは別に設定されています。大面積（400×400mm）のウェーハサイズに対応し、ウェーハホルダーアセンブリのオプションにより、高スループット生産と自動化のためのさまざまなアプローチを提供します。単位内の屈折ベースの光学要素は0。07 µmから>400 µmにイメージングを可能にします。視野範囲は、2つの光軸に関して、サンプル表面の地形を異なる高さで表示する機能によって促進されます。これらの測定は、金属層と誘電層の表面整合性を検出するために使用できます。8000はまた、タイムラプス研究や共焦点顕微鏡など、さまざまなイメージング機能を提供しています。統合されたソフトウェアは、リアルタイムの測定データ分析を提供し、プロセス監視とパフォーマンスを強化するための簡潔な統計的プロセス制御を可能にします。全体として、VEECO/DEKTAK 8000は、半導体デバイスおよび材料の電気特性を高精度に測定できる統合ウェーハ試験および計測機です。自動化されたアライメントと電動ステージ、0。07 µm〜>400 µmの光学分解能、および表面整合性を決定する高度なイメージング機能を備えています。統合ソフトウェアはまた、強化されたプロセス監視とパフォーマンスのためのデータのリアルタイム分析を提供します。