中古 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #9299921 を販売中

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XTは、厚さ、深さ、プロファイル、CDなどのウェーハパラメータを高精度に測定するウェーハテストおよび計測機器です。薄型ウェーハの非接触、非破壊測定を行うように設計されています。接触プローブや液体エッチングを必要とせずにウェーハを測定します。VEECO DEKTAK XTはX線干渉計を使用しています。つまり、ウェハ表面の上部と下部のX線移動時間の違いを計算します。SLOAN DEKTAK XTは、絶対プロファイルとステップ高さの測定の両方を提供し、半導体計測、表面テクスチャ分析、フラットパネルディスプレイ計測など、さまざまなアプリケーションに最適です。BRUKER DEKTAK XTは、最大ウェーハカバレッジを提供するように設計された800 mm x 600 mm XYスキャナテーブルを備えています。また、10nm解像度の高精度Zステージを搭載しています。XYスキャナは3軸サーボコントロールユニットで制御され、Z段は高速、高解像度のモータで駆動されます。DEKTAK XTは、画像取得時にウェーハを確実に固定する真空チャックも備えています。VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XTは、MetumaxTMプロファイルソフトウェアを備えており、迅速かつ正確なプロファイル取得を可能にします。MetumaxTMソフトウェアは、0。25ナノメートルのサイズの機能を測定できます。プロファイルソフトウェアには、測定の間のデータセットを比較したり、専門のアプリケーションソフトウェアで収集されたデータを分析するために使用できるポスト測定分析ツールもあります。VEECO DEKTAK XTは、測定中にウェーハを監視するために使用できる内蔵カメラマシンを備えています。カメラは1024 x 768までの解像度で画像を取得することができます。カメラはまた、オペレータが比較と後処理のためのプロファイル画像を格納することができます。SLOAN DEKTAK XTは、強力で高精度なウェーハテストと計測ツールです。これは、さまざまなアプリケーションに最適であり、機能の広い範囲を提供しています。BRUKER DEKTAK XTは、薄いウエハーパラメータの正確な測定を要求する組織に最適です。