中古 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293812083 を販売中

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XTは、高精度の3Dナノスケールの表面形状測定を提供する次世代ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、マイクロエレクトロニクスコンポーネントの大容量メーカーのスループットを向上させ、生産コストを削減するように設計されています。このユニットは、正確で反復可能で信頼性の高い測定のために、カスタムビルドのコンタクトベースのスタイラスプロフィロメータを使用しています。スタイラスプロファイルは、毎秒500以上の異なるポイントを測定することができます。ウェーハ表面から直接測定し、高精度・再現性を実現します。また、自動ウェーハアライナー（AWA）を搭載し、高精度、高速、正確にウェーハを正しい位置に配置してスキャン場の測定を行います。AWAは、連続スキャン中にウェーハ上のさまざまな個々のダイ上のスタイラスが常に同じ表面点に接触するようにリアルタイムで補正するように設計されています。このツールには、ハードウェアコンポーネントに加えて、ウェーハテストと計測を容易にするさまざまなソフトウェアアプリケーションが含まれています。例えば、マルチレベル機能測定アプリケーションは、高精度で再現性の高い測定を可能にします。アセットの自動機能認識（AFR）モデルは、このアプリケーションと連携して、ウェーハの重要な機能を迅速かつ正確に検出します。この機器には、高速エッジ検出およびレビュー（EDR）アプリケーションも含まれています。この機能により、オペレータはウェーハ上のエッジ条件や高空間分解能粒子や汚染物質を数秒以内に迅速にレビューできます。このシステムには、さまざまな機能タイプを迅速に識別および分類するための包括的な機能識別/分類（FIC）ユニットもあります。VEECO DEKTAK XTマシンは、さまざまなアプリケーションの生産時間とコストを大幅に削減するのに役立ちます。高度な技術とツールを活用して、ウェーハ上のナノスケールの特徴を迅速かつ正確に測定します。自動化されたアライナーと機能認識技術により、ウェーハテストと計測の高速化を実現します。そのため、ウェーハ上のナノスケールの特徴を素早く正確に測定したいマイクロエレクトロニクスコンポーネントの大容量メーカーにとっては優れたソリューションです。