中古 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293797519 を販売中

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XTは、半導体とMEMSデバイスの両方の精密測定用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。レーザビームスキャン、静電容量センシング、自動イメージングなど、革新的な設計と高度な技術の組み合わせを提供しており、現在市場にある他のシステムとは一線を画しています。このシステムには最新のレーザービームスキャン技術が搭載されており、原子レベルで動作し、デバイスの機能に高解像度と精度を提供します。このレーザー技術は、反復的な電気測定とイメージングの組み合わせによって、ウェハ特性を包括的に把握することができます。VEECO DEKTAK XTは、さまざまなウェーハ材料の表面トポロジ、粗さ、プロファイル情報を正確に測定できる、使いやすい大容量センシングスタイラスも備えています。このスタイラス設計により、複数の測定を自動化してスループットを向上させることもできます。SLOAN DEKTAK XTは、ウェーハの表面形態を迅速かつ正確に解析できるように設計された統合イメージングユニットも提供しています。サンプルの10ミクロン分解能イメージを提供し、ステップハイト、ライン幅、絶縁フィーチャーのサイズなどの重要なデバイスパラメータを計算するために使用できます。最後に、この機械は許容の1つのangstromの内でウェーハの平坦を正確に測定できます。これは、表面または構造の欠陥を補償するように設計された独自のアルゴリズムを使用して達成されます。結論として、DEKTAK XTは、レーザビームスキャン、容量性センシング、自動イメージングなどの機能を備えた原子レベルでの精密測定を提供する高度なウェーハ試験および計測ツールです。この資産は、ウェーハテストのニーズに合わせて、多目的で信頼性の高いソリューションを探しているユーザーに最適です。