中古 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293756643 を販売中

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XTは、スタイラスベースの非接触法を使用したウェーハ試験および計測装置です。加工前後の材料特性を評価し、ナノスケールの表面形状、表面粗さ、厚さを測定するように設計されています。VEECO DEKTAK XTは、プローブと表面の間の力を検出し、サンプル表面の3D地形画像を提供する原子力顕微鏡（AFM）技術を使用しています。標準システムは、サンプル位置決めのための3軸ステージを提供し、標準的な最大移動量は100 × 100 mm、最大速度は0。5 mm/sです。垂直アクチュエータは、24。3mmまでの移動距離を提供し、スタンドオフ測定と層状サンプルの厚さを正確に測定するための表面接触検出器を備えています。典型的な解像度はZ（垂直）方向で0。05ミクロンです。このユニットのスキャンヘッドにはリニアエンコーダが内蔵されており、スキャン中にプローブがサンプル全体を効率的かつ正確に移動することができます。スキャンヘッドは、光学容量検出機とバックラッシュフリーの双方向ステージステッパーを内蔵し、X/Yの完全な移動距離に沿って8ミクロンの再現性を備えています。このツールには、コンピュータ、モニター、機器コントローラ、スキャンヘッドとマニピュレータの動作を制御するためのソフトウェア、スキャンデータのストリーミングと記録、およびデータ分析用のソフトウェアが含まれています。オプションの校正、自動校正、スループットの向上、高度な測定オプションを利用できます。SLOAN DEKTAK XTは非常に精密で安定した信頼性があり、薄膜厚と抵抗測定、摩耗および腐食試験、両機能表面測定、表面粗さ、ウェーハ平坦性およびステップ高さ試験など、さまざまな用途に使用されています。