中古 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK 8 #9291942 を販売中

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK 8は、半導体メーカーやナノテクノロジー研究者が構造、層、特徴を原子スケールまで正確に測定できるように設計された高精度ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ナノメートルレベルの精度でウェーハトポグラフィ、マイクロ厚などの重要なパラメータを測定することができます。このユニットには、干渉測定用の強力な光学機器と、複数のウェハ検査用の大きなステージが装備されています。また、目視検査用の電動顕微鏡を内蔵した自動プローブ位置決めツールを内蔵しています。この自動アセットにより、ユーザーはサンプル上の任意の場所にプローブを正確に配置することができ、さまざまなダイおよびウェーハ形状の複数の位置を簡単に測定できます。自動化されたモデルでは、最大1000Hzのデータ取得速度も可能です。この装置の高精度・高分解能は、レーザー光の2つのビーム間の光干渉を測定する独自の干渉測定技術に由来しています。これにより、環境への影響に対して反復可能で免疫性のある高精度で正確な測定を行うことができます。VEECO DEKTAK 8には、フィルタリング、データ収集、分析ツールなどの統合ソフトウェア機能もあります。4点光学的な厚さ、深さマップ、プライマリ・プレーン・コンタリング機能など、さまざまな計測プロトコルをサポートしており、ウェーハの特徴に関する詳細かつ正確な情報を収集することができます。また、操作を簡素化し、エンドユーザーのデータ分析を向上させるためのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）も備えています。全体として、SLOAN DEKTAK 8は汎用性と正確なウェーハテストと計測システムです。自動化されたプローブ位置決めユニット、干渉計技術、統合ソフトウェアにより、原子レベルまでの重要な機能を正確に測定できます。