中古 VEECO / BRUKER NPFLEX #9309128 を販売中
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ID: 9309128
ヴィンテージ: 2014
Optical profiler
Operating system: Windows 10
Camera: BASLER SCA640 74fm
LINNIK LWD objective: 0.5x and 10x
FOV: .55x, 1x, 2x
4-Axis stage plus tip / tilt in head carrier
2014 vintage.
VEECO/BRUKER NPFLEXは、化合物半導体材料の製造と研究のために体系的に設計された高度な計測およびウェーハ試験です。本装置は、III-V化合物半導体をはじめとする各種化合物のウェーハ上での高速かつ精密な非破壊試験を提供します。可視光顕微鏡とニアフィールドスキャン光学顕微鏡（NSOM）を組み合わせることで、高側面分解能（最大50nm）を実現します。高い側面分解能により、マイクロ/ナノバンプやトレンチなどの基本的な特徴から、カンチレバープローブの先端、ナノ電子デバイス、フォトニック回路などのより複雑なパターンまで、サンプル上のさまざまな構造を調べることができます。このユニットはまた、データ収集とイメージング機能を備えており、迅速な測定と顕微鏡スキャンを可能にします。これにより、電流密度や電気透過率などの基本的な電気特性から、光学・電気分野の分布などのより複雑なパラメータまで、幅広いパラメータを持つ広範な画像を取得・分析することができます。VEECO NPFLEXは、データ収集とイメージングに加えて、複数の顕微鏡技術を組み合わせた3Dマッピングも可能です。これにより、細かい高さのディテールを連続的に画像化することで、ウエハ表面の詳細な立体像を得ることができます。3Dマッピング機能は、実際の線幅測定、表面粗さマッピング、高アスペクト比のイメージング、ウェーハ変形解析などのナノ製造アプリケーションに特に役立ちます。全体として、BRUKER NPFLEXは、高解像度イメージングと高速データ取得を組み合わせ、化合物半導体ウェーハの完全な画像を提供する高度なウェーハ試験および計測機です。これにより、ウェーハ上のマイクロ/ナノ構造の詳細な情報や解析が可能となり、化合物半導体材料の製造・研究に携わる方々に最適なツールとなります。
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