中古 VEECO 9000 #9024202 を販売中

製造業者
VEECO
モデル
9000
ID: 9024202
Profiler.
VEECO 9000は、VEECO Instruments Inc。が開発した強力なウェハテストおよび計測機器です。さまざまなウェーハアプリケーションで最高のスループット、解像度、再現性、精度を提供するように設計されています。このシステムには、ウェハマッピング顕微鏡、プロフィロメータ、楕円計、原子力顕微鏡(AFM)などの高度な機器が含まれています。これらのツールは、表面トポロジー、化学、不純物、および欠陥の詳細な分析を可能にします。このユニットのウェハマッピング顕微鏡は、インラインとクロスラインの2つのイメージング取得フェーズを持つ光学部品です。このツールは、表面トポロジや3Dサーフェスプロファイルなど、さまざまな種類の画像データを収集できます。スキャナは150mmまでの直径および厚い4インチまで絶えずスキャンできます。ステージはインラインスキャンまたはクロスラインスキャンに使用でき、サンプルアライメントは自動化されています。プロイフォロメーターは、ナノスケール地形を測定するための強力なツールです。ナノメートル精度でサブミクロン線の幅と深さを測定することができます。このマシンは、高い垂直分解能を持つ大面積の高速スキャン機能を含む、動作のいくつかのモードを提供しています。このツールは、干渉光学技術を使用して正確な測定を保証します。エリプソメータは、厚さや地形などの重要なウェーハプロセスパラメータのデータを測定します。異なった波長のための自動光源の口径測定を特色にし、5nmの小さい表面のスペクトル特性を測定できます。屈折率、絶滅係数、絶滅角、吸収係数を測定することもできます。原子力顕微鏡(AFM)は、スキャンプローブの組み合わせを使用して、サンプルの原子レベルの表面トポロジーと化学を測定します。このツールは、ナノメートル精度でナノスケール表面フィーチャーの非常に高解像度の画像を生成することができます。2次元スキャンヘッドを持ち、最大0。5nmのx-y-z解像度まで移動できます。AFMには、フォースモジュレーションイメージング、スキャン非対称イメージング、位相イメージング、タッピングモードイメージングなど、さまざまなイメージングモードも装備されています。これらの高度な機器に加えて、9000ツールには、データ分析と監視のためのいくつかの追加のソフトウェアツールも含まれています。アセットには、簡単に設定してデータにアクセスできるユーザーインターフェイスが含まれています。モデルは、これらのデータセットから詳細なレポートや画像を作成することもできます。VEECO 9000ウェハテストおよび計測機器は、ナノスケール表面解析に高い性能と精度を要求する業界の専門家にとって、最高のスループット、再現性、精度を提供します。複数の強力な機器を組み合わせることで、表面トポロジー、化学、不純物、欠陥を測定するための比類のないレベルの精度を提供します。高度なイメージングから詳細なデータ収集まで、9000はさまざまなウェハアプリケーションに最適なソリューションです。
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