中古 TOKYO SEIMITSU DIAH84 #187300 を販売中

TOKYO SEIMITSU DIAH84
ID: 187300
ヴィンテージ: 1986
Test system 1986 vintage.
TOKYO SEIMITSU DIAH84は、半導体ウェーハの特性を測定・分析するために設計された、高精度の自動ウェーハ試験・計測装置です。光学イメージングや計測技術の最新技術を活用し、パターンサイズや表面トポグラフィなど、ウェーハのさまざまな側面を測定します。このシステムは、光学顕微鏡と統合された計測およびイメージングユニットで構成されています。この顕微鏡は、2つの独立した光学イメージングと計測システム(オープンクローズドタイプ)で構成されており、ウェーハの画像を同時に撮影することができます。どちらのシステムも、0。85と200倍までの高倍率で、非常に高精度な測定を実現しています。統合された計測およびイメージングマシンには、ウェーハのすべての表面に素早く簡単にアクセスできるロータリーステージが装備されています。ロータリーステージは、位置決めと回転速度において高精度です。また、レーザー干渉計DIAH84内蔵しており、厚さ、表面粗さ、形状などの光学特性を正確かつ高精度に測定することができます。このツールを使用すると、ユーザーは簡単にウェーハ表面上の小さな複雑なパターンのプロファイルを測定することができます。レーザー干渉計はまた、将来の測定のための高い再現性を保証します。また、高速画像処理モジュールを搭載しており、高精度・高解像度の測定が可能です。使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスにより、計測に関する事前の知識なしでモデルを操作できます。TOKYO SEIMITSU DIAH84は、ウェーハテストと計測のための強力かつ高精度なツールであり、プロセス制御やトラブルシューティングなど、さまざまな研究および産業アプリケーションに適しています。光ファイバアクセシビリティにより、機器は移動しやすく、さまざまな製造および実験環境で使用できます。これは、高精度のウェーハテスト機能を必要とする産業ユーザーにとって理想的なツールです。
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