中古 TOKYO KEIKI MAC-92CV #9226139 を販売中

TOKYO KEIKI MAC-92CV
ID: 9226139
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1997
Reticle inspection system, 6" 1997 vintage.
TOKYO KEIKI MAC-92CVは、半導体業界で使用される先進的なウェーハ試験・計測機器です。ウェーハフィルムの厚さ、レーザー誘発応力などの電気特性を測定し、プロセス制御とウェーハ検査を提供するように設計されています。システム自体は、セントラルポンプ、高感度圧力トランスデューサ、マルチポート並列キャパシタンスマノメータで構成されています。中央ポンプは可変速度を実行することができ、78。8 MPaの最大圧力を供給し、毎分最大150サイクルで回転することができます。ユニット内の高感度圧力トランスデューサは低ノイズで、0.0001MPa内までの圧力を正確に測定できますが、マルチポート並列静電容量マノメータはウェハフィルム、ウェハストレスなどの電気特性を測定するために使用されます。MAC-92CVはユーザーが圧力、速度および温度のような用具のすべての関連した変数を、監視し、制御することを可能にする洗練された制御機械が装備されています;また、包括的なプロセスと製品制御のためのテストの広い範囲を実行することができます。これらの試験は、フィルム組成、応力および劣化レベル、およびウェーハとそのフィルムの追加特性の測定に使用できます。また、ウェーハ表面マッピングやウェーハ検査にも使用でき、製品の品質やプロセス制御を監視することができます。TOKYO KEIKI MAC-92CVは、精度と再現性に優れた設計となっており、ウェハテストや計測用途に最適です。それは非常に信頼でき、使いやすく、実験室および生産の環境に使用することができ優秀な測定および結果を提供します。
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