中古 THERMA-WAVE TP 400 #9309068 を販売中
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THERMA-WAVE TP 400は、半導体業界向けに設計されたウェーハ試験および計測ソリューションです。これは、最高レベルのプロセス制御のための正確で反復可能な非接触測定を提供します。この装置にはモジュラー設計が含まれており、2次元と3次元の両方で正確なマッピングのための最大の柔軟性を提供します。誘電体特性、マイクロ波性能、エッジプロファイル、平面性、計測、薄膜特性を測定するために熱画像と画像認識を採用しています。75〜300mmの標準ウェーハサイズに対応し、100%の検査でフルマップカバレッジを提供します。このシステムには、アクティブな熱マルチステップ温度コントローラ、精密ステージ、高度なソフトウェアが組み込まれた高度なオートメーションプラットフォームが搭載されています。生産環境、サービスライン、研究におけるウェハ特性の分析に使用できます。このソフトウェアは、ウェーハイメージのリアルタイム表示と統計単位レポートを提供します。このユニットは、新しいプロセスノードの開発をサポートするために、高分解能の静電容量と抵抗マップを測定することができます。故障解析や生産歩留まりの最適化にも役立ちます。高解像度のイメージング機能により、小さな構造や配線の正確な特性評価が可能です。ソフトウェアのデータ解析ツールは、高速な画像読み込みと処理速度で大量の製造における欠陥の自動分類を可能にします。マルチレイヤフィッティングや計算アルゴリズムなどの高度な技術を使用して、ウェーハの正確な解析を行います。ソフトウェア制御の試験機能により、非線形熱プロファイル校正と補正が可能で、ナノエレクトロニクス分野の研究開発に最適です。全体的に、THERMA-WAVE TP400は、ウェーハのテストと計測のための信頼性と正確なソリューションです。堅牢な分析機能と高解像度イメージングを提供し、品質保証とプロセス制御を向上させます。強力なオートメーションプラットフォームと効率的なソフトウェアにより、半導体産業の産業および研究アプリケーションに最適なツールです。
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