中古 THERMA-WAVE TP 3300 #9093527 を販売中

THERMA-WAVE TP 3300は、半導体ウェーハに正確で信頼性の高い結果を提供するように設計された精密ウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光学技術、走査型電子顕微鏡（SEM）、熱画像、および他の様々な先端技術を組み合わせて、比類のない正確な測定を実現します。半導体業界では、一貫した正確な薄膜データを生成するために使用され、高品質な半導体製品の開発を可能にします。ユニットは、自動ウェーハレベルのアライメントとテストから始まります。アライメントマシンは、光学顕微鏡、触覚センシング、レーザースキャンを組み合わせて、ウェーハ表面の物理的特徴を検出してマッピングします。この情報は、薄膜プローブを正確に配置するために使用され、測定精度と再現性を向上させます。このツールには、ウェーハの熱特性（熱伝導率、熱抵抗、熱容量など）を評価するための赤外サーモグラフィーやサーモグラフィーなどのさまざまな熱試験法も含まれています。この情報は、プロセス温度、熱流量、熱効率などのデバイスの主要パラメータを分析するために使用されます。このアセットには、高度な走査型電子顕微鏡（SEM）も含まれており、ウェハの微細構造をより詳細に分析することができます。このモデルは、高解像度のSEMイメージングと解析を使用することで、ウェハの部品形状、粒度、物理的欠陥を特徴付けることができます。この情報は、熱試験の他のデータと組み合わせることで、デバイスの性能を完全に把握することができます。さらに、TP 3300装置には、近距離スキャン顕微鏡（NSM）、静電容量電圧（CV）メートル、プロフィロメータなど、さまざまな高度な計測技術が含まれています。これらのツールは、ウェーハの特性をより包括的に分析し、高品質で信頼性の高い半導体デバイスの開発を可能にします。THERMA-WAVE TP 3300システムは、高品質で信頼性の高い半導体デバイスを製造するための正確で信頼性の高い包括的なデータを提供する高度なウェーハ試験および計測プラットフォームです。アライメント、熱試験、走査型電子顕微鏡を組み合わせることで、あらゆる半導体製造操作において非常に貴重なツールとなります。