中古 THERMA-WAVE TP 300 #93220 を販売中

THERMA-WAVE TP 300は、さまざまなウェーハ材料およびプロセスの評価に信頼性の高い正確なデータを提供するように設計された高精度のウェーハ試験および計測機器です。ウエハプロセスの監視と特性評価において最高水準を提供する高度なソフトウェアとハードウェアを搭載しています。堅牢なLEDベースの近赤外線（NIR）光源を備えており、すべてのサブフィールドで優れた均一性と光スループットを提供するように設計されており、厚さ、平坦度、屈折率などのさまざまなウェハーパラメータを正確に測定できます。このシステムには、近赤外領域で非常に正確な角度測定が可能な単元回折光素子（DOE）が搭載されています。独自の設計により、広い波長範囲にわたってさまざまなプロセスを評価するための高分解能データが保証されています。TP300は、サンプル移動を統合した完全自動化されたユニットで、高いスループットと優れたデータ精度を提供します。また、リアルタイムの複数サイト測定機能を備えており、最大24サンプルサイトのリアルタイム比較測定が可能です。さらに、統合されたグラフィカルユーザーインターフェイスは、簡素化された制御機能、計測結果の表示、最大1000レシピを保存する能力を通じて効率的な操作を容易にします。THERMA-WAVE TP 300は、高速アライメントマシン、深度センサ、エンドエフェクタ、プログラマブルツールオフセット、自動校正機能、リアルタイム更新機能を備えた内蔵オンボードソフトウェアなどの追加機能により、優れた性能と信頼性を提供します。技術仕様については、最小波長350nm、開口数0。15で動作し、1箇所で最大25箇所の測定が可能で、X-Yステージ精度は10 μ m、再現性は5 μ mです。全体として、TP 300は高度な機能と柔軟性を提供する高精度のウェーハテストおよび計測資産であり、効果的なプロセス監視のための製品品質と信頼性の高いデータを保証します。このモデルは、最大の性能と正確な測定を可能にする堅牢な機能を提供し、ウェーハのメーカーにとって理想的な選択肢となります。