中古 THERMA-WAVE TP 300 #112387 を販売中
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ID: 112387
ヴィンテージ: 1989
Therma probe
With monitor
Maximum temperature: 1050°C
1989 vintage.
THERMA-WAVE TP 300は、半導体製造プロセスで使用するために設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、高精度の測定を提供し、デバイスのパフォーマンスを向上させ、歩留まりを向上させ、全体的なプロセス制御を向上させるために使用できる正確な計測データを提供します。専用のフルフィールド測定機を搭載し、ウェーハの厚さの小さなバリエーションを測定することができるシャープさと感度を備えています。これは、測定を取得するために、精密に設計されたレーザーラインの数百で構成されている光学回折格子を使用しています。このツールは、単一のウェーハの厚さ、異なる厚さの複数のウェーハ、または同じ厚さの複数のウェーハを測定するために使用できます。このアセットは、光学散乱計、光学プロファイラ、スキャニングトンネリング顕微鏡、X線回折計など、幅広い精密計測ツールをサポートしています。また、データ分析と品質管理機能の完全なスイートが含まれています。TP300モデルには、高速データ収集および解析機能も搭載しています。プログラミングされたロジックにより、迅速かつ正確にデータをキャプチャすることができ、ユーザーはプロセス制御を微調整し、より高品質な製品を生産することができます。このシステムは、テキストレポートやグラフィックレポートなどの複数のフォーマットで各ウェーハのパフォーマンスに関する詳細情報を含むレポートを作成する機能をユーザーに提供します。これにより、ユーザーは新しいプロセスを開発し、既存のプロセスを最適化する際に情報に基づいた意思決定を行うために必要なデータを確実に取得できます。このユニットは、すべての主要なプロセス制御ソフトウェアおよびツールと互換性があるように設計されており、品質管理措置を実施する際に最大限の柔軟性をユーザーに提供します。セミプロフェッショナルで精密な計測器を駆動し、校正機を備えているため、ユーザーは時間をかけて測定の精度を維持できます。THERMA-WAVE TP 300は、最新の半導体製造プロセスの要求を満たすように設計された汎用性の高い高性能な測定ツールです。高度なデータ収集および分析機能により、ウェーハの厚さを迅速かつ正確に測定することができ、ユーザーは十分な情報に基づいたプロセス決定を行うことができます。
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