中古 THERMA-WAVE Therma-Probe 420 #9238862 を販売中

THERMA-WAVE Therma-Probe 420は、光学3Dマッピングを使用してウェーハの高さ、幅、深さを総合的に測定し、半導体製造の品質管理を行うウェーハ試験および計測機器です。Therma-Probe 420は、3秒未満でウェーハあたり最大2000万点の正確な3Dスキャンデータを提供します。ナノスケールの解像度で地形などを正確に測定し、0。5 ×0。5 の解像度でデータを取得 ことができます。シングルショットトポグラフィースキャンは、表面特性と欠陥検出の迅速かつ信頼性の高い測定を提供します。自動ジオメトリ測定により、ウェーハトポグラフィの校正と補償が行われ、データがすべての測定で一貫した信頼性が確保されます。平坦度や丸みなどのパラメータを測定する軸は完全にプログラム可能であり、各ユニークな生産環境内での柔軟性を可能にします。THERMA-WAVE Therma-Probe 420のソフトウェアアプリケーションは、3D地形画像の完全で詳細な解析を提供します。システムの直感的なソフトウェアとビジュアライゼーションにより、オペレータは欠陥をすばやく検出し、表面特性を正確に測定できます。また、3つのオプションモジュールを提供しています：高度な欠陥検出、高度な機能分析、および高度なウェーハエッジモニタリング。変形解析により、物理的または化学的処理の前後の地形を比較することができます。一方、ダイナミックステッチプロセスは、スキャン中に地形のリアルタイムステッチを実行し、プロバイダに3D結果を得るためのより正確で効率的な方法を提供します。コンパクトな設計で、高さ16。7インチの床面積を最小限に抑えることができます。デュアルポート機能を備え、8インチから200mmまでの幅広いウェーハ素材に対応しています。また、セラミック基板とシリコン基板の両方にも適しています。全体として、Therma-Probe 420は包括的なウェーハテストと計測に最適です。正確な3Dマップと変形解析を提供し、ダイナミックステッチングプロセスにより、結果が一貫して信頼性が高くなります。最小限の床面積を必要とし、さまざまな基板と互換性があるため、優れた性能を発揮します。