中古 THERMA-WAVE OPTIPROBE 7341 #9123268 を販売中
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THERMA-WAVE Optiprobe 7341は、半導体ウェーハの表面と地形を測定し、薄膜材料を測定するための高度なウェーハ試験および計測装置です。半導体ウェーハや薄膜材料の優れた3D表面特性を提供する高精度、非破壊計測システムです。このユニットは、表面粗さ、ステップ高さ、幅、深さ、輪郭、断面形状測定など、幅広い測定を行うように設計されています。Optiprobe 7341は、高アスペクト比、および低アスペクト比の測定が可能で、スキャン速度は毎秒270 mmまで(ロングビューオプションでは毎秒1000 mmまで)。THERMA-WAVE Optiprobe 7341は、ウェーハの表面や地形に関するさまざまな定量データを生成することができます。これには、Zernike係数からステレオグラフィック表現まで、包括的なエンジニアリング品質保証指標が含まれます。Optiprobe 7341は、高解像度の画像や、相対的な高さや色の画像など、さまざまな出力を生成して、視覚的比較と統合された欠陥検出を行うこともできます。THERMA-WAVE Optiprobe 7341には、ユーザーが最小限のプログラミングでカスタム計測アプリケーションを開発できる統合ソフトウェアスイートが装備されています。このソフトウェアは、使いやすく、直感的で機能が豊富であるように設計されており、ユーザーはデータをすばやく分析し、傾向を特定し、レポートを簡単に生成することができます。このソフトウェアは、強力なイメージベースの欠陥検出機能も提供します。Optiprobe 7341は、幅広いウエハの種類とサイズで高精度な結果をユーザーに提供することにより、最も要求の厳しい生産テスト要件を満たすように設計された完全自動化されたマシンです。光学顕微鏡、タッチスクリーンコントローラ、自動プローブツールを搭載しています。プローブアセットは、サンプル表面を連続スキャンできるZステージで構成されています。この顕微鏡は、スキャンされる表面の画像を取得するための高解像度デジタルカメラを備えています。THERMA-WAVE Optiprobe 7341は、大量の半導体製造に理想的なウェーハ試験および計測モデルであり、幅広い処理および検査ステップでウェーハを測定するように設計されています。その強力なソフトウェア機能により、ユーザーは半導体ウェーハ上で自動3D特性評価結果をすばやく得ることができ、ウェーハ欠陥の識別、故障解析、プロセス最適化のためのタイムリーかつ正確な指標を生成できます。
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