中古 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240 #9111927 を販売中

THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240は、半導体デバイスの精密測定用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。高度な光学イメージングプラットフォームを備えており、接触/結合パッドの検査と正確な測定を可能にし、ウェハレベルの評価に高いスループットを提供します。このシステムはサブミクロン分解能と精度を提供し、非破壊検査と重要なデバイス特性の正確な分析を可能にします。高度な3Dスキャン技術を活用し、ウェーハ表面から詳細な情報を収集し、ボンドパッドの高さ、直径、接触抵抗などの重要寸法を正確に測定できます。さらに、ウェーハの露出を低減する反射防止コーティング技術を備えており、正確かつ再現性の高い結果をもたらします。OPTIPROBE 5240はゲートの厚さ、ゲートの深さ、接触のサイズ、接触の金属化、装置マスクの整列および他の重要な変数のような重要な装置変数を測定できる高解像度のデジタル画像処理用具が装備されています。このアセットは、ニードルトレース、ボイド、およびその他の高いアスペクト比の欠陥など、ウェーハの重要な欠陥を識別することもできます。THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240モデルには、ユーザーがラインスキャン、パノラマ、3Dイメージングを実行できる包括的な計測ソフトウェアパッケージも装備されています。このソフトウェアには色分けされたグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれており、ユーザーは測定結果をすばやく識別して分析することができます。また、自動チューニング機能を搭載しており、生産ラインの試験セットアップと容易に統合できます。さらに、OPTIPROBE 5240には、高速かつ正確なスキャンのための高効率モーターと、最適なイメージングを確保するためのオートフォーカス機能が装備されています。このシステムには、データ取得速度や画像校正オプションなど、さまざまなユーザー定義可能な設定も含まれています。このユニットは、ダウンタイムを最小限に抑え、機械コストを削減して、正確で再現可能な測定を生成する能力を備えています。さらに、直感的なユーザーインターフェイスと診断出力を備えているため、大量生産に最適です。