中古 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220I #9171337 を販売中

THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220Iは、サーモグラフィー、光学イメージング、反射測定、表面容量などの最先端の技術を組み合わせて、ウェーハ特性を正確かつ迅速に測定するウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、チップ製造プロセスにおいて不可欠な要素であるウェーハの平坦性、均一性、厚さ、反射率、地形、および静電容量の信頼性の高い測定を提供します。OPTIPROBE 5220Iは、薄くて厚いウェーハを素早く測定できる高精度の多機能デバイスです。マルチコーディネートモータコントロールユニットを使用して、薄型と厚型の両方のウェーハを1ミクロンの精度まで正確に測定します。さらに、高解像度の光学顕微鏡ツールは、地形や光学特性を正確に表示および分析できるように3次元画像を提供します。また、THERMA-WAVE特許取得済みのサーモグラフィーモデルは、赤外線イメージングと技術を使用してウェーハやチップ上の熱データポイントをキャプチャします。このデータは、表面平坦度、変動、薄化などの熱特性を正確に測定するために使用されます。この装置はまた、熱的または光学的に誘導された両方の特徴のプロファイリング、およびマイクロ欠陥の検出を可能にします。THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220Iは、ピーク性能と精度を提供する完全なシステムです。迅速なキャリブレーション、正確なウェハチャック制御、自動厚さ調整のためのクイックチェンジモジュール、およびキー測定を文書化するための複数のレポートフォーマットを備えたデータロギングユニットが含まれています。高度な機能を備えたOPTIPROBE 5220Iは、ウェーハ特性のテストと分析に最適なソリューションです。さらに、統合されたソフトウェアにより操作が容易になり、ユーザーはプロセスに必要なデータにすばやくアクセスできます。このツールは、ウェーハテストと計測において一貫した優れた結果を生み出すための強力で信頼性の高いツールです。