中古 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV #9168988 を販売中
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ID: 9168988
ヴィンテージ: 1997
Thin film measurement system
Open cassette for 6/8 application
Upgraded from OP3260DUV
Non-Cu process
Vacuum handling
1997 vintage.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUVは、最先端のウェーハ試験および計測ツールです。計測学、特性評価、故障解析、ライン・エッジラフネス測定、スクライブラインテストなど、さまざまな用途に使用されています。THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290DUVは、表面粗さ、粒子汚染、ステップ高さの不規則性などのミクロンレベルの表面異常を検出することができます。OPTIPROBE 3290 DUVは、深紫外線干渉法(DUV)と偏光解析を組み合わせてウェーハの表面特性を評価します。OPTIPROBE 3290DUVには、光学ノイズレベルの低い非常にコヒーレントで集中したビームを放射する深紫外線レーザーシステムが装備されています。さらに、検出範囲は<0。2 μ m〜3 μ mで、レーザー画像の倍率範囲は40 μ mを超えています。DUVレーザーシステムと偏光解析の組み合わせにより、THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUVはウェーハの表面温度を正確に測定できます。THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290DUVは、精密温度マッピングとイメージングに最適なツールです。これは、試験された基板の安定性を決定する上で重要な役割を果たします。OPTIPROBE 3290 DUVには、統合ソフトウェアパッケージも付属しています。このソフトウェアには、効率的なデータ収集と分析を可能にするさまざまな分析ツールが含まれています。また、測定結果の可視化を容易にするための強力なグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。OPTIPROBE 3290DUVは人間工学的に設計されており、コンパクトなフォームファクタが付属しています。これにより、アクセスが制限された狭いスペースや環境での設置に適しています。そのユーザーフレンドリーなデザインは、簡単なセットアップとメンテナンスを可能にします。全体として、THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUVは、市場で最も先進的なウェーハテストおよび計測システムの1つです。これは、さまざまなアプリケーションに信頼性の高い正確な結果を提供します。ミクロンレベルの表面異常を測定できるため、精密で詳細な分析に特に適しています。
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