中古 THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690 #293824685 を販売中
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THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690は、半導体デバイスの検査およびプロセス監視用に設計されたウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、光電気プローブユニット（OEP）と熱波ユニット（TWS）の2つの部分で構成されています。OEPは、5〜10mmの範囲で非接触電気測定用の高感度光電気プローブμ構成されています。TWSは急速な温度上昇または熱波の測定を提供し、集積回路（IC）が正しく機能しているかどうかを判断するのに役立ちます。OEPは、ウェーハの光学特性と電気特性の両方を測定するために、長距離作動距離を目的としたCCDカメラを使用しています。ダイオードレーザーはOEPと組み合わせて電気抵抗を測定し、ICおよび誘電層の光学検査も行うことができます。この高感度で堅牢なマシンは、ビア、クラック結合、ショートなどの潜在的なIC障害を数秒で検出できます。OPTIPROBE 2690は、パルスレーザーを使用してウェーハの温度上昇を誘導し、結果として生じる光信号を測定する熱波ツールも備えています。このアセットは、ホットスポット、リーク、ショート、はんだ付け品質の悪いIC欠陥を検出することができます。TWSにはさまざまなセンサと信号コンディショニング部品が組み込まれており、正確で信頼性の高い測定が可能です。THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690は、故障解析、プロセス監視、デバイス性能評価に最適なソリューションです。ICやウェーハにおけるさまざまな種類の電気的、物理的、機械的故障を検出できる、効率的で費用対効果の高い非侵襲的な試験ソリューションです。さらに、その自動化された操作は、ヒューマンエラーの可能性を排除する迅速かつ一貫したテストプロセスを保証します。
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